中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡VT6000系列以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力,。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)3D測(cè)量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；

2)影像測(cè)量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能，可進(jìn)行長(zhǎng)度,、角度,、半徑等尺寸測(cè)量,；

3)自動(dòng)拼接功能：設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞,，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。

不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,，其次是對(duì)表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測(cè)中,。

3D形貌圖片：

影像測(cè)量功能界面

儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng),。儀器操作便捷,，采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格,，實(shí)現(xiàn)了所見(jiàn)即所得的快速檢測(cè)效果。

應(yīng)用場(chǎng)景

1,、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè),。

2,、光伏

在太陽(yáng)能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽(yáng)能電池的性能,。共聚焦顯微鏡可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè)。此外,，太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中,，制絨作為關(guān)鍵核心工藝，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3,、其他

部分技術(shù)指標(biāo)