中圖儀器VT6000共聚焦3D超景深顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。

在相同物鏡放大的條件下，VT6000共聚焦3D超景深顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),，橫向分辨率更高,。擅長微納級粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度,、角度,、半徑等尺寸測量；

3)自動(dòng)拼接功能：設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

自設(shè)計(jì)之初,，便定下了“簡單好用”四字方針的目標(biāo)。

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計(jì),；

2）真彩圖像：配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì),，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,；

4）采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái),，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對。

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,，其次是對表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

應(yīng)用場景

部分技術(shù)指標(biāo)