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日立分析儀器(上海)有限公司

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FT1030 深能級瞬態(tài)譜儀DLTS

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深能級瞬態(tài)譜儀DLTSFT-1030

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料,、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校,、研究所,、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,,香港,、南通、深圳,、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,,快速響應(yīng)客戶需求。同時上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場,,并設(shè)立新加坡分公司,,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀,;  - 快速退火爐,;  - 回流焊爐,共晶爐,,釬焊爐,,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),,熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺,,低溫探針臺,微探針臺,;  - 金剛石劃片機(jī),; - 球焊機(jī),鍥焊機(jī),;  - 磁控濺射鍍膜機(jī),;  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備,;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler),; - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀,; -貼片機(jī)-PECVD\CVD,;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓印,;-等離子清洗機(jī),、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī),、無掩膜光刻機(jī),; - 勻膠機(jī),; - 熱板,烤膠板,; -少子壽命,、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī),、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),,鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),,電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),,微波等離子沉積機(jī),,原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造,, 深圳清力技術(shù),, 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技,, 矽品半導(dǎo)體,, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技,, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技,, 奧普科星河北科技,,廣東五星太陽能,廣東萬和集團(tuán),,西安西測股份,, 普源精電科技, 普源精電科技股份,, 上海蔚來汽車,, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技,, 深圳匯佳成電子,, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電,, 合肥鼎材科技,, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份,, 廣東風(fēng)華技股份,, 浙江中能合控股集團(tuán),,固安維信諾,淮安天合光能,,浙江老鷹半導(dǎo)體,, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué),, 汕頭大學(xué),, 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué),, 北京大學(xué),, 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué),, 南京醫(yī)科大學(xué),, 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué),, 蘇州大學(xué),, 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗(yàn)室,, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院,, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),,江南大學(xué),,重慶26所, 深圳大學(xué),, 南方科技大學(xué),, 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所,, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心,, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué),, 上海硅酸鹽研究所,, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等,。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,,快速退火爐,原子層沉積,,鍵合機(jī),,光刻機(jī)

  • 詳細(xì)介紹

  • 高能分辨率深能級瞬態(tài)譜(DLTS)


    PhysTech在1990年推出了一臺數(shù)字DLTS,隨著電腦技術(shù)的發(fā)展,使得在短時間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能,。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上,,用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程,如傅里葉轉(zhuǎn)換,、拉普拉斯轉(zhuǎn)換,、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS(等溫瞬態(tài)光譜)信號重疊法,、溫度掃描信號重疊法(重折疊),。與其他系統(tǒng)相比,HERA-DLTS具有能量分辨率,。

    半導(dǎo)體的摻雜濃度,、缺陷能級位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段,。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié),、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì),、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì),、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS 譜。

    特點(diǎn):

    操作模式:


    規(guī)格:



    分辨率:

    1*108 atoms/cm3

    脈沖發(fā)生器

    電壓范圍:±20.4V(±102opt.)
    電壓分辨率:0.625mV
    電流:>±15mA
    脈沖寬度:1μs-1000s
    快速脈沖選配


    電容表
    HF信號:100Mv@1MHz(20mV optional)
    范圍[pF]:3,30,300,3000(自動或手動)
    電容補(bǔ)償:0.1-3000 pF(自動或手動)
    靈敏度:0.01 fF


    電壓測量
    范圍:±10V
    靈敏度:<1μV
    輸入電阻:106Ohm
    可提供偏壓補(bǔ)償:

    電流測試

    范圍:

    5,,從±1μA 到±10mA

    靈敏度:

    <1pA
    可提供漏電保護(hù)

    瞬態(tài)記錄

    樣品速率:

    2μs到2000s

    樣品數(shù)量:

    16-16384(opt.64k)

    可調(diào)節(jié)抗失真濾膜



    標(biāo)準(zhǔn)冷卻倉
    溫度范圍:15K-450K或77K~800K
    溫度掃描方式:使用28個不同的相關(guān)功能(軟件)通過一次溫度掃描,,給出28個溫度掃描信號。

    典型性能(Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV)
    靈敏度:10-7<NT/(ND-NA)<10-5
    能量精度:HT+/-3%
    能量分辨率:10meV
    發(fā)射率:10-3/s<en<104/s


    Options






    • Constant Capacitance

    • Optical Excitation

    • Fast Pulse Interface

    • ±100 V Option

    • Multi Sample Interface

    • C-DLTS

    • CC-DLTS

    • I-DLTS

    • DD-DLTS

    • Zerbst-DLTS

    • O-DLTS

    • FET-Analysis

    • MOS-Analysis

    • ITS(等溫瞬態(tài)光譜儀)

    • 缺陷分析

    • 俘獲截面測量

    • I/V, I/V(T)理查森標(biāo)繪圖

    • C/V, C/V(T)

    • TSC/TSCAP

    • PITS(光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜)

    • DLOS(特殊系統(tǒng))

    • 自動接觸檢查

    • 常規(guī)測試和加強(qiáng)軟件

    • 自動電容補(bǔ)償

    • 三終端FET電流瞬態(tài)測量

    • 大電容和濃度范圍

    • 靈活性高,、模塊化硬件

    • 支持各種冷卻倉和溫度控制器

    • 傅里葉轉(zhuǎn)換(F-DLTS),,比例窗口和用戶自定義校正功能

    • DLTFS(深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀)評價







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