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Horiba直接注入式汽化器VC-1420
- 公司名稱 上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/2/15 14:45:53
- 訪問次數(shù) 105
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氣體質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量計,,熱式質(zhì)量流量控制器,,液體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量控制器,,壓力調(diào)節(jié)閥,,壓差表,、壓差傳感器、制粒干燥機
價格區(qū)間 | 2萬-5萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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液體 | 可用于不銹鋼材質(zhì)的液體 | 氣體 | Ar |
汽化能力 | 5g/min(TEOS) |
Horiba直接注入式汽化器VC-1420
直接液體注入系統(tǒng)
在半導(dǎo)體測試工藝過程中控制氣體比例和濕度平衡相當(dāng)困難,可以通過以下產(chǎn)品達(dá)到準(zhǔn)確的氣體平衡和氣體濕度:氣體 MFC(SEC-Z512MGX,、N112MGX、),、液體 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000),。
Horiba直接注入式汽化器VC-1420能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源,組建更緊湊的汽化系統(tǒng),。
HORIBA 可為您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng):
· 一種用于流量測量的液體質(zhì)量流量計
· 一種用于蒸氣流量測量的高溫質(zhì)量流量控制器
· 閥門,、過濾器、加熱器等
特征
· 尺寸緊湊
· 可安裝在各種位置
· 暢銷的 TEOS 汽化系統(tǒng)
· 結(jié)合 SEF 或 LF,,可實現(xiàn)數(shù)字控制
· 無需特殊鼓泡罐或汽化罐
· DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列
· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸圖
HORIBA 是高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導(dǎo)體制程,,可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點。無論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,,HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng),。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列,、汽化器VE系列。
暢銷型號:VC-1420,、MV-1000、MV-2000,、VE-10,、VE-30.