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Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計

參考價 50000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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我公司代理進口品牌多年,有兩大業(yè)務:horiba質量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件,。

HORIBA著名的半導體設備供應商,,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器,、壓力控制器,、汽化器。在半導體設備PECVD,、MOCVD,、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。暢銷的質量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列,、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國內組裝的S600系列,、S48系列、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50,、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列,、GR-300系列,、PV-1000,氣體濃度計IR-300,、IR-400,,汽化器有VE10、VE20,、MV-2000,,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer,、美國Omega,、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,,是美國*的儀器儀表生產商,,有多個自主品牌:MagnehelicFlotect,、Mercoid,、Love,主要產品有:差壓表2000-250Pa,、負壓表2000-500Pa,、2000-60pa2000-25MBAR,、2000-3KPA,、2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111,、MS111LCD,、MS121LCDMS311LCD,、MS141LCD,;防爆差壓開關1950-1-2F1950-5-2F,、1950-20-2F1950G-1-2F-24,、1950-0-2F,;flotect流量開關V4-2-UV6EPBBS1BAT,、V6EPBBS3BAT,、V6EPBBSLFflotect液位開關L6EPBBS3CCSA,;風速變送器641-6-LED,、641-12-LED641RM-12-LED;轉子流量計RMB-11-SSV-APF,、RMA-13-SSV-APF,、RMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APF,、RMB-51D-SSV-BPF,、RMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPF,、VFA-2-BV,;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC,、3000MR-500PA,、3000MR-60PA3000MR25MM,;防爆差壓開關AT23000MR,、AT21910AT21823,、AT2MS,、AT21640AT11910,、AT1ADPS,。

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭,、Omega熱電偶線,、Omega流量計等;韓國TK,,SUPER LOK,,卡套,超純隔膜閥,,VCR直通,,鎳墊片,焊接,、卡套,、VCR接頭,廣泛應用于電子半導體,,太陽能,,暖通,空調,,食品,,制藥,,生物工程,智能樓宇,,電廠,,化工,水處理,,環(huán)境監(jiān)測,,工業(yè)制造和實驗室等領域。



氣體質量流量計,,熱式質量流量計,,熱式質量流量控制器,液體質量流量計,,液體質量流量控制器,,壓力調節(jié)閥,壓差表,、壓差傳感器,、制粒干燥機

價格區(qū)間 2萬-5萬 應用領域 電子/電池
液體 可用于不銹鋼材質的液體 載氣 Ar、N2
汽化能力 汽化能力20g/min(TEOS)

Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計

液體混合注入,,汽化能力20g/min(TEOS)

 

 

HORIBA 是半導體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應商之一,。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導體制程,可以安全有效地將液相化學品以氣相形態(tài)輸送至使用點,。無論液態(tài)化學品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,,HORIBA 的汽化技術都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括:汽化器VC系列,、汽化器MV系列,、汽化器VE系列。

暢銷型號:VC-1420,、MV-1000,、MV-2000、VE-10,、VE-30.


MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,,即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化,實現(xiàn)流量計的流量測量功能,。適用于包含 “High-k”工藝液體在內的一系列液體源的汽化,。

Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計可通過使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實現(xiàn)高沸點液體的穩(wěn)定汽化,。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法

· 產生更大流量

· 汽化溫度降低

Horiba汽化器MV-2000 液體轉氣體流量計

 

測量技術 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合,。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化,。
3. 氣體被釋放,,防止凝結成液態(tài)。

技術參數(shù)

型號

MV-2000

液體名稱

除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF)

汽化能力(參考)

20g/min (TEOS) 2g/min (H2O)

耐溫

混合閥部分 : Max140℃  汽化部分:Max200℃

泄露率

≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)

接液材質

SUS316L , PFA

溫度探頭

K型熱電偶

耐壓

1MPa (G)

標準接口

液體入口: 1/8 VCR公頭,;  載氣入口:1/4 VCR母頭,;

 氣體出口: 1/2 VCR公頭

環(huán)境溫度

15 - 50 ?C

可選項

氣體閥(內漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )

 

 

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