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MFC330-05E 氣體質量流量控制器

參考價 4600
訂貨量 ≥10
具體成交價以合同協(xié)議為準

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愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 ,??偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能 制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,,位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學科技園 ,。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質量流量測量與控制 ,。 愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊,,具有高水平的產(chǎn)品設計、結 構,、硬件和軟件等研發(fā)能力,,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企 業(yè) , 更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥 )的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家,。愛拓利質量流量計及控 制器被廣泛應用于半導體,、光 伏、真空鍍膜,、生命科學,、燃料電池、精度分析儀器 ,、石化,、制氣 、醫(yī)療 ,、食品 ,、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時,,愛拓利十分注重產(chǎn)品品質,。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質量控制體系,,并通過了ISO9001質量體系認證。通過標準化生產(chǎn),,規(guī)范化管理 ,,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā),、生產(chǎn)和應用經(jīng)驗積淀,,愛拓利先后推出了多款氣體質量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,,氣體種類覆蓋面廣,、控制及測量精度高 、響應速度快,、性能穩(wěn)定 ,。

 

氣體流量計

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質量式
價格區(qū)間 面議 介質分類 氣體
應用領域 綜合

MFC330-05E氣體質量流量控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值,。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,,MFC330-05E氣體質量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。

氣體質量流量控制器

MFC330工作原理:

產(chǎn)品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案


主要參數(shù):
介質要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
0-2,,10,,20,50,,100,,300,500 sccm,;0-1,,2,5,,10,,20,30,,50,,100,,200,500slpm
測量范圍
0.5%F.S.(1:200)
控制范圍
1%-100% FS.(1:100)
準確度
標準:±1% F.S.
高精度
±0.5%
重復精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
控制響應時間
<3 秒
預熱時間
5 min(T95),,30 分鐘最佳
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He


機械特性
最大工作壓力
3 MPa(30bar)
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃(環(huán)境和氣體)
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
卡套,、VCR、快插,、快擰(可選)
氣體接觸材質
氟橡膠,、304/316不銹鋼
密封材質
氟橡膠 FKM
防護等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.96kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號
0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ,,輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率
200Hz
數(shù)字信號
Modbus RTU (RS232,, RS485), CAN
通信速率
9600(默認),,14400,,19200,38400,,56000,,57600,115200 bps(用戶可修改)
電源
15-40 VDC,,<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號精度
±0.05%F.S.
特征
標況
20℃,,1 atm
氣體選擇
可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件
Aitoly分階流量軟件
尺寸:
滿量程深度ABCDE重量
2 sccm~50 slpm125.00 mm76.00 mm32.00 mm64.00 mm17.80 mm7.00 mm6.00 mmM4 ↓ 5 mm≈0.96 kg
4.921 in2.992 in1.260 in2.520 in0.701 in0.276 in0.236 inM4 ↓ 0.197 in≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm138 mm82 mm38 mm62 mm30 mm10 mm10 mmM4 ↓ 8 mm≈1.3 kg
5.43 in3.221.4962.2201.1810.3930.393 inM4 ↓ 0.31 in≈2.88 lb

產(chǎn)品選型:
氣體質量流量控制器





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