一,、基本結(jié)構(gòu)

1. 流量傳感器

• MFC 內(nèi)部通常采用熱式質(zhì)量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導(dǎo)原理工作,。它有兩個溫度傳感器（RTD,，電阻溫度探測器）和一個加熱元件。

• 加熱元件位于兩個溫度傳感器中間,。當(dāng)氣體流過時,，帶走熱量，根據(jù)熱量傳遞的原理,，氣體流速不同,，帶走熱量的速度也不同，進(jìn)而導(dǎo)致兩個溫度傳感器之間產(chǎn)生溫度差,。

• 通過測量這個溫度差,，可以計算出氣體的質(zhì)量流量。

2. 流量控制閥

• MFC 配有一個比例控制閥,，通常是一個針閥或球閥,。這個閥門可以精確地控制氣體的通過量。

• 閥門的開度由一個電磁驅(qū)動裝置控制,，通過改變閥門的開度來調(diào)節(jié)氣體流量,。

二、工作過程

1. 測量流量

• 當(dāng)氣體進(jìn)入 MFC 時,，首先經(jīng)過流量傳感器,。傳感器測量氣體的流量，并將流量信號轉(zhuǎn)換為電信號（如電壓或電流信號）,。

• 這個電信號被發(fā)送到 MFC 的控制電路,。

2. 流量控制

• MFC 的控制電路將接收到的流量信號與設(shè)定值進(jìn)行比較。如果測量流量與設(shè)定流量不一致,，控制電路會向流量控制閥發(fā)送信號,。

• 流量控制閥根據(jù)控制信號調(diào)整閥門開度。如果測量流量小于設(shè)定流量，閥門會開大,；如果測量流量大于設(shè)定流量,，閥門會關(guān)小。

• 這種反饋控制機(jī)制不斷循環(huán),，確保實(shí)際氣體流量與設(shè)定流量保持一致,，從而實(shí)現(xiàn)精確的流量控制。

三,、應(yīng)用場景