MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器,，自帶溫度和壓力補(bǔ)償,。具有響應(yīng)速度快，寬量程比,、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 4600 |
| 訂貨量 | ≥10臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛(ài)拓利
- 型號(hào) MFC300-03A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/9 14:53:14
- 訪問(wèn)次數(shù) 282
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng),，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,，寬量程比
更小體積，安裝方便
無(wú)需預(yù)熱,，使用便捷
分階流量控制軟件,，靈活配置
主要參數(shù)
- 介質(zhì)要求潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
- 氣體種類(lèi)Air，N2,，02,，Ar,，CH4，CO2
- 量程0-5,，10,，20，50,，100,，300，500 sccm,；0-1,，2，3,，4,，5 slpm
- 測(cè)量和控制范圍0.2%-100%F.S. （1:500）
- 準(zhǔn)確度±0.5%F.S.
- 重復(fù)精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm,，0-50 sccm可選）
- 傳感器響應(yīng)時(shí)間5ms
- 控制響應(yīng)時(shí)間300ms
- 預(yù)熱時(shí)間≤1s
- 閥門(mén)常閉式
- 泄漏率1*10-11Pa.m3/sec He
機(jī)械特性
- 最大工作壓力1.1 MPa（11bar）
- 工作壓差范圍0-1 MPa
- 工作溫度范圍0-65℃（環(huán)境和氣體）
- 溫度范圍0 - 98%無(wú)凝露
- 氣路接頭類(lèi)型快插、快擰,、卡套,、VCR（可選）
- 氣體接觸材質(zhì)氟橡膠、黃銅,、300-系列不銹鋼,、硅
- 密封材質(zhì)氟橡膠 FKM
- 防護(hù)等級(jí)IP40
- 安裝方式任意方向安裝
- 固定孔M4 ↓ 5mm
- 重量0.38kg
電氣和通訊
- 電氣連接接口類(lèi)型DB-9 male
- 模擬信號(hào)0 - 5 VDC，4-20mA（可定制）
- 輸入輸出阻抗輸入阻抗>10MΩ,，輸出阻抗<600Ω
- 量程0-2,，10，20,，30,，100，300,，500sccm
0-1,，2，5,，10，20,，30slpm - 通信速率9600（默認(rèn)）,，14400，19200,，38400 bps（用戶可修改）
- 電源15-40 VDC,，100 mA
特征
- 標(biāo)況20℃,，1 atm
- 氣體選擇可選，具體參考說(shuō)明書(shū)氣體系數(shù)
- 軟件Aitoly分階流量軟件
尺寸
| 滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
| 2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
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