愛拓利MFC330

來源：蘇州愛拓利電子設備有限公司 2025年01月09日 14:58

MFC330 傳感器基于毛細管柱熱式傳感器,，毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,，二者都在傳感器管的外部,。

氣流進入MFC后,，分成兩個內(nèi)部流路：

第一條路徑：流經(jīng)加熱的毛細管傳感器管，該管的直徑較小且長度較長,。

第二條平行路徑：通過分流旁路,。

兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設定，出廠前完成該設定,。

設定完成后,，通過毛細管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量,，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,，二者都在傳感器管的外部。

需要預熱： 5min 內(nèi)達到 95% 流量精度,，最長預熱30min

基于熱傳導,，MFC響應速度≤ 1s 優(yōu)點：由于其非接觸式的結(jié)構(gòu)，抗腐蝕,，液體不損壞,，過流不損壞。

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