UNECS系列光譜橢偏儀

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產品標簽

橢偏儀手動型

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護,、保養(yǎng),、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,，軟件著作權 14 項,，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

展開

冷熱臺，快速退火爐,，光刻機,，納米壓印、磁控濺射,，電子束蒸發(fā)

產地類別	進口	價格區(qū)間	面議
應用領域	化工,電子

1. 產品概述：

UNECS系列是可以高速,、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式,，實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化,。

我們的產品陣容包括便攜式，自動式和對應真空環(huán)境的設備內置式類型,。

2. 特點

高速測定
快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量,。

適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。

緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,，因此非常輕且緊湊,，并且不需要定期維護。

豐富的產品陣容：
產品陣容應用廣泛,，包括如便攜類型,，手動/自動平臺類型，大型基板類型,，以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型,。

3. 用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜,，抗蝕劑,，ITO等）的膜厚，折射率,，消光系數(shù)的測量