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ET4000A 全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 KOSAKA/小坂研究所
  • 型號(hào) ET4000A
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/9/5 10:56:16
  • 訪問(wèn)次數(shù) 390

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù),。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺(tái),,快速退火爐,光刻機(jī),,納米壓印,、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能,、全自動(dòng)的微細(xì)形狀測(cè)量機(jī),,在平板顯示器(FPD)、晶圓,、硬盤(pán)等納米尺度的測(cè)量領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

 

2. 設(shè)備應(yīng)用

半導(dǎo)體行業(yè):用于晶圓表面的形貌、臺(tái)階高度,、粗糙度等參數(shù)的精確測(cè)量,,對(duì)半導(dǎo)體芯片的制造工藝控制和質(zhì)量檢測(cè)至關(guān)重要,比如測(cè)量晶圓表面的薄膜厚度,、刻蝕深度等,。

平板顯示領(lǐng)域:可檢測(cè) FPD 基板的表面平整度、段差、微觀結(jié)構(gòu)等,,保障平板顯示器的顯示質(zhì)量和性能,,像液晶面板、OLED 面板等的相關(guān)測(cè)量,。

硬盤(pán)制造:能夠測(cè)量硬盤(pán)盤(pán)片的表面粗糙度,、磁頭飛行高度等關(guān)鍵參數(shù),對(duì)于提高硬盤(pán)的存儲(chǔ)密度和讀寫(xiě)性能有重要意義,。

精密加工行業(yè):適用于各種精密機(jī)械零部件的表面形狀,、尺寸精度測(cè)量,有助于提升產(chǎn)品的加工精度和質(zhì)量控制水平,,例如精密模具,、微型機(jī)械零件等的測(cè)量。

科研領(lǐng)域:為材料科學(xué),、納米技術(shù)等科研項(xiàng)目提供高精度的微觀形狀測(cè)量數(shù)據(jù),,支持相關(guān)領(lǐng)域的研究和創(chuàng)新,如納米材料的表面特性研究,、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的形貌分析等,。

ET4000A:多功能全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn):這款測(cè)量機(jī)具備多功能性,能夠滿(mǎn)足各種復(fù)雜的測(cè)量需求,。

應(yīng)用:非常適合需要高精度,、多功能測(cè)量的應(yīng)用場(chǎng)景,如科研,、精密制造等,。

 

ET4000L:可處理大尺寸的全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn):這款測(cè)量機(jī)特別設(shè)計(jì)用于處理大尺寸樣品,具有的穩(wěn)定性和精度,。

應(yīng)用:非常適合需要測(cè)量大尺寸基板、晶圓等的應(yīng)用場(chǎng)景,,如平板顯示器制造,、半導(dǎo)體行業(yè)等。

 

ET4000M:合理,、高性能,、通用的微形狀測(cè)量機(jī)

特點(diǎn):這款測(cè)量機(jī)具有合理的價(jià)格、高性能和通用性,,能夠滿(mǎn)足大多數(shù)測(cè)量需求,。

應(yīng)用:非常適合需要高精度測(cè)量但預(yù)算有限的應(yīng)用場(chǎng)景,如質(zhì)量控制,、產(chǎn)品研發(fā)等,。

 

ET4000系列全自動(dòng)微形狀測(cè)量機(jī)提供了多種型號(hào)選擇,以滿(mǎn)足不同應(yīng)用場(chǎng)景和預(yù)算需求。無(wú)論您需要測(cè)量小尺寸還是大尺寸樣品,,高精度還是多功能性,,ET4000系列都能提供合適的解決方案

 

 

3. 設(shè)備特點(diǎn)

高精度測(cè)量:具備出色的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度,,保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,,例如在測(cè)量微小臺(tái)階高度時(shí)能精確到納米級(jí)別。

超高真直度:確保量測(cè)圖形不受干擾,,可在真直度保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量,,有利于對(duì)大型工件或具有長(zhǎng)行程特征的樣品進(jìn)行精確測(cè)量。

先進(jìn)的檢出器:采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT,,超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié),,既能滿(mǎn)足不同測(cè)量需求,又能避免對(duì)被測(cè)物體表面造成損傷,。

高分辨率定位:配備高分辨率的 CCD,,可即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量,有助于快速準(zhǔn)確地找到測(cè)量位置,,提高測(cè)量效率,。

多功能性:可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范,測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種,,滿(mǎn)足不同行業(yè)和應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)測(cè)量參數(shù)的多樣化需求,。

廣泛的適用性:適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子,、精加工表面,、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜 / 化學(xué)涂層以及平板顯示等領(lǐng)域,,具有很強(qiáng)的通用性,。

 

4. 產(chǎn)品參數(shù)(P5551A為例

測(cè)定工件

最大工件尺寸:210×210mm 至 300×400mm。

最大工件厚度:50mm,。

最大工件重量:2kg,。

檢出器(pickup)

z 方向測(cè)定范圍:max.100μm。

z 方向分解能:0.1nm,。

測(cè)定力:0.5μN(yùn) 至 500μN(yùn),。

觸針半徑:0.5μm、2μm,。

驅(qū)動(dòng)方式:直動(dòng)式,。

x 軸(基準(zhǔn)軸)

移動(dòng)量(最大測(cè)長(zhǎng)):100mm,。

移動(dòng)的真直度:0.005μm/5mm,。

測(cè)定速度:0.005~2mm/s,。

位置定位時(shí)速度:max.10mm/s。

線性尺(linear scale)分解能:0.01μm,。

位置定位再現(xiàn)性:±5μm,。

滑軌材質(zhì):在鑄鐵(CD - 5)上鍍上硬質(zhì) Cr,,無(wú)潤(rùn)滑(于移動(dòng)臺(tái)側(cè),,使用鐵弗龍折動(dòng)材料)。

驅(qū)動(dòng):DC motor + dynamic belt,。

y 軸(位置決定用)

移動(dòng)量:52mm,。

移動(dòng)速度:max.3mm/s。

滑軌:cross roller 滑軌,。

驅(qū)動(dòng):DC motor + 滾珠螺桿(p = 2mm),。

檢出器自動(dòng)停止機(jī)能。

工件臺(tái)

工件臺(tái)尺寸:210mm×210mm,。

自動(dòng)傾斜量:x 為 ±1mm/150mm,,y 為 ±1mm/186mm。

分解能:0.25μm,。

驅(qū)動(dòng):pulse motor,。

其他

全自動(dòng)量測(cè)功能。

工件觀察:max.80 倍(可選購(gòu)其它高倍率 CCD),。

床臺(tái)材質(zhì)為花崗巖石,。

段差測(cè)定再現(xiàn)性:1δ,5a° 以?xún)?nèi),。

防振臺(tái)(選購(gòu)):落地型或桌上型,。

電源:AC100V±10%,50/60Hz,,800VA,。

本體外觀尺寸:W660×D580×H660mm(不含防震臺(tái))。




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