作為一個做微納的研究狗,，感覺老婆太大了,，看不到微米尺度！先說主要問題,。

如果類似手機膜的物體厚度近百微米甚至幾百微米,，請直接用螺旋千分尺測量，俗稱千分尺,，就是下圖的儀器,。可以達到10μm m的測量精度,，日常估計手機貼膜就夠了,。如果薄膜厚度為幾微米或更小，普通的機械測量裝置將不起作用,。在科學研究中,，針對不同的膠片，有多種測量方法,。讓我們舉幾個例子,。

1.橢偏儀,。這是一種非接觸式光學測量儀，下圖中對稱的就是橢偏儀,。這個儀器有兩個臂,，一個是發(fā)光臂，可以發(fā)出一定帶寬的光(比如從近紫外到近紅外),，另一個是接收臂,，嚴格對稱。通過測量波長和偏振態(tài),，可以同時獲得包括薄膜厚度在內(nèi)的許多參數(shù),。而且只要是薄膜，不管是金屬材料還是玻璃等介質(zhì),，理論上都可以用這個儀器測量,。可以從納米尺度測量到微米尺度(甚至更厚,，但不是必須的),。如果是普通材料，精度往往很高,。
       2.臺階儀還有一個測量薄膜厚度的利器，叫做臺階儀,，就是下圖的儀器,。它的原理是用一根細小的觸針在被測表面上輕輕滑動，并記錄下軌跡,，這樣你就可以自然地得到物體表面的起伏信息,。如果是在膜的邊緣測量，可以記錄下膜面到?jīng)]有膜的位置的高度差,，自然可以得到膜的厚度,。一般測量幾十納米到微米的薄膜是沒有問題的。
       3.原子力顯微鏡(AFM)原子力顯微鏡其實和步米的原理差不多,，只不過使用的探頭比步米的小,，測量精度更高，理論上可以達到納米級,。通過陣列掃描,，可以獲得薄膜表面的起伏信息，所以一般用AFM來測量表面粗糙度,，這是一個較小的量,。當然，如果薄膜厚度超薄,，也可以在薄膜邊緣獲得厚度信息,。下圖中AFM獲得的表面形貌示例,。其實“薄膜”是一個相當大的學科，發(fā)展起來的技術和理論很多,，我只接觸過幾個,。所以這里說的方法只是表面的，希望對題主有所幫助,。