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RIE等離子刻蝕機SI 591

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RIE等離子刻蝕機SI 591

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北京瑞科中儀科技有限公司一家是專門從事數(shù)碼光學(xué)顯微鏡及相關(guān)實驗室設(shè)備研發(fā)與銷售的新型高科技公司,,也專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校,、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的材料分析解決方案,,北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡,、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),、離子束刻蝕機、等離子清洗機,、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器,,以專業(yè)能力導(dǎo)向,精細(xì)工藝流程,,用科學(xué)手段解決科研中遇到的難題.彼此協(xié)作,,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

公司主要產(chǎn)品包括:生物顯微鏡,、金相顯微鏡,、偏光顯微鏡,、體視顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡,、顯微鏡數(shù)碼相機照相接口,、顯微鏡*冷光源、數(shù)碼圖像分析系統(tǒng),、測量顯微鏡,、三座標(biāo)測量顯微鏡,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機

公司經(jīng)銷代理品牌包括:蔡司顯微鏡,,奧林巴斯顯微鏡,尼康顯微鏡,,徠卡顯微鏡,國產(chǎn)各廠家顯微鏡,, 華粵行 ,,基恩士 ,, 日本電,,日立 ,,布魯克,,三和聯(lián),, sentech(森泰克),,SYSKEY(矽碁), PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品 ,,天美愛丁堡,,原子光譜,氣相色譜,,PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品

代理經(jīng)銷的產(chǎn)品種類包括,,熒光顯微鏡,,熒光顯微成像系統(tǒng),,激光捕獲顯微切割,,全自動切片掃描,,三維超景深顯微系統(tǒng),動物超聲系統(tǒng),,3D超景深顯微鏡,,形貌探測顯微鏡,蔡司共聚焦顯微鏡,,全自動數(shù)字切片掃描,,病理切片掃描,,激光切割顯微系統(tǒng),立體顯微鏡,,國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡,,精準(zhǔn)醫(yī)學(xué)顯微切割,,激光顯微切割系統(tǒng),,按需搭建顯微系統(tǒng),,熒光光譜儀,,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機


公司成立伊始,,即本著“以人為本,,誠信發(fā)展,,合作共贏"的企業(yè)宗旨,,快樂中結(jié)識新朋友,穩(wěn)步中追求新發(fā)展,。目前公司已經(jīng)擁有一支由專業(yè)技術(shù)人員,、營銷人員和維修人員組成的強大隊伍,,竭誠為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢,、產(chǎn)品配套,、安裝調(diào)試、應(yīng)用指導(dǎo),、維護(hù)保養(yǎng)在內(nèi)的整套細(xì)致入微的服務(wù)。同時公司還依托中國地質(zhì)研究院,、清華大學(xué),、中國農(nóng)業(yè)大學(xué)、中科院等科研院所的強大技術(shù)實力,,特聘多名教授,、博士作為我公司提供多方面的技術(shù)支持,。

公司儲備各顯微鏡現(xiàn)貨,,只要您有需求,,我們就能隨時為您提供各種產(chǎn)品選配服務(wù),。公司管理層、營銷隊伍和技術(shù)人員都具備多年的專業(yè)技術(shù)經(jīng)驗,相信我們的質(zhì)量和服務(wù)一定是顯微光學(xué)領(lǐng)域中無法可比的,。

北京瑞科中儀科技有限公司秉承“專業(yè)的人員,過硬的技術(shù),,優(yōu)秀的產(chǎn)品"精神,,為您提供專業(yè),、及時,、周到的技術(shù)服務(wù),北京瑞科中儀科技有限公司必將成為您值得信賴的伙伴!












顯微鏡,,激光共聚焦,,電鏡,x射線,,激光捕獲顯微切割,,熒光成像系統(tǒng),DNA/RNA合成儀,,半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備,,生命科學(xué)儀器,光刻機,,

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子,制藥

工藝靈活性

RIE等離子刻蝕機SI 591 特別適用于氯基和氟基等離子蝕刻工藝

占地面積小且模塊化程度高

RIE等離子刻蝕機SI 591可配置為單個反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備,。

SENTECH控制軟件

我們的等離子蝕刻設(shè)備包括用功能強大的用戶友好軟件與模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,工藝窗口,,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理,。


預(yù)真空室和計算機控制的等離子體刻蝕工藝條件,使得SI 591 具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和等離子體蝕刻工藝靈活性,。靈活性,、模塊性和占地面積小是SI 591的設(shè)計特點。樣品直徑可達(dá)200mm,,通過載片器加載,。SI 591可以配置為穿墻式操作或具有更多選項的占地面積操作。

位于頂部電極和反應(yīng)腔體的更大診斷窗口可以輕易地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng),。橢偏儀端口可用于SENTECH橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測,。

SI 591結(jié)合了計算機控制的RIE平行板電極設(shè)計的優(yōu)點和預(yù)真空室系統(tǒng)。SI 591可配置用于各種材料的刻蝕,。在SENTECH,,我們提供不同級別的自動化程度,從真空片盒載片到一個工藝腔室或多六個工藝模塊端口,,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),,目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 591也可用作多腔系統(tǒng)中的一個工藝模塊,。


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