英國(guó)光柵刻蝕
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/10 10:01:07
- 訪問次數(shù) 234
聯(lián)系方式:汪先生18210898984 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
顯微鏡,激光共聚焦,,電鏡,,x射線,激光捕獲顯微切割,,熒光成像系統(tǒng),,DNA/RNA合成儀,半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備,,生命科學(xué)儀器,,光刻機(jī),,
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),地礦,建材,電氣,綜合 |
---|
英國(guó)光柵刻蝕介紹
低損傷刻蝕
由于離子能量低,離子能量分布帶寬窄,,因此可以用我們的等離子體刻蝕機(jī)SI 500進(jìn)行低損傷刻蝕和納米結(jié)構(gòu)的刻蝕,。
高速刻蝕
對(duì)于具有高深寬比的高速硅基MEMS刻蝕,光滑的側(cè)壁可以通過室溫下氣體切換工藝或低溫工藝即可很容易地實(shí)現(xiàn),。
自主研發(fā)的ICP等離子源
三螺旋平行板天線(PTSA)等離子源是SENTECH等離子體工藝設(shè)備的屬性,。PTSA源能生成具有高離子密度和低離子能量的均勻等離子體。它具有高耦合效率和非常好的起輝性能,,非常適用于加工各種材料和結(jié)構(gòu),。
動(dòng)態(tài)溫度控制
在等離子體刻蝕過程中,襯底溫度的設(shè)定和穩(wěn)定性對(duì)于實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量蝕刻起著至關(guān)重要的作用,。動(dòng)態(tài)溫度控制的ICP襯底電極結(jié)合氦氣背冷和基板背面溫度傳感,,可在-150°C至+400°C的廣泛溫度范圍內(nèi)提供了優(yōu)良的工藝條件。
英國(guó)光柵刻蝕為研發(fā)和生產(chǎn)提供的電感耦合等離子體(ICP)工藝設(shè)備,。它基于ICP等離子體源PTSA,,動(dòng)態(tài)溫度控制的襯底電極,全自動(dòng)控制的真空系統(tǒng),,使用遠(yuǎn)程現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)的的SETECH控制軟件和用于操作SI 500的用戶友好的通用接口,。靈活性和模塊化是SI 500主要的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。
SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī),,可以用于加工各種各樣的襯底,,從直徑高達(dá)200 mm的晶片到裝載在載片器上的零件。單晶片預(yù)真空室保證穩(wěn)定的工藝條件,,并且切換工藝非常容易,。
SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī),通過配置可用于刻蝕不同材料,,包括但不于例如三五族化合物半導(dǎo)體(GaAs, InP, GaN, InSb),,介質(zhì),石英,,玻璃,,硅和硅化合物(SiC, SiGe),還有金屬等。
SENTECH提供用戶不同級(jí)別的自動(dòng)化程度,,從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室到六個(gè)工藝模塊端口,,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量,。SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī)也可用作多腔系統(tǒng)中的工藝模塊,。
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img58.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3f124f3897f25562363f6895123e6e699.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img43.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3e4aa29c683d90a986621deba4a7b6e2f.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img43.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3577c5939702cf178099283c6d4a173c5.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img43.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3dac0d4d6766b68fd9aa8bc220932c0ee.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img43.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a332350f47221d50c320f894e2044c3506.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img57.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a39bd70bfa086c2a72db956cf356c6982a.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img57.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3db16a4f32f95cafe6bfd516be9d39a51.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img44.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3fe6f06c53e12b7dc494c4eae89fbfe77.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img44.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3205604cca361b41d73b5d94c40b652e1.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img47.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a334e4cf89acff3e122367977429aff325.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img60.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3950a6fdc50c09051cb0f667fa85eb238.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img60.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3dbf4efb07036708299921266a3a0e19c.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img60.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a32085548d4bf0355a499b6ef619d32b23.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img60.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3ca7c45e9a61d57486c1f4112c615adab.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img60.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a39b677066b266766825984c49f79a4932.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img55.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3d7318ae87d6ea3b2388b76709868e94c.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img55.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a354a22b3b875cc9118bf2bcad43336528.jpg)
![英國(guó)光柵刻蝕](https://img59.chem17.com/5eceadd4559dcfd27394f8af6ff21e2b5c22c161bc3810a3430ef1c18cbbcbac020f906d979c924d.jpg)