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ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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北京瑞科中儀科技有限公司一家是專門從事數(shù)碼光學(xué)顯微鏡及相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備研發(fā)與銷售的新型高科技公司,,也專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的材料分析解決方案,,北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),、離子束刻蝕機(jī),、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器,,以專業(yè)能力導(dǎo)向,,精細(xì)工藝流程,用科學(xué)手段解決科研中遇到的難題.彼此協(xié)作,,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章,。

公司主要產(chǎn)品包括:生物顯微鏡,、金相顯微鏡、偏光顯微鏡,、體視顯微鏡,、數(shù)碼顯微鏡、顯微鏡數(shù)碼相機(jī)照相接口,、顯微鏡*冷光源,、數(shù)碼圖像分析系統(tǒng)、測量顯微鏡,、三座標(biāo)測量顯微鏡,,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)

公司經(jīng)銷代理品牌包括:蔡司顯微鏡,奧林巴斯顯微鏡,,尼康顯微鏡,,徠卡顯微鏡,國產(chǎn)各廠家顯微鏡,, 華粵行 ,,基恩士 , 日本電,,日立 ,,布魯克,三和聯(lián),, sentech(森泰克),,SYSKEY(矽碁), PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品 ,,天美愛丁堡,,原子光譜,氣相色譜,,PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品

代理經(jīng)銷的產(chǎn)品種類包括,,熒光顯微鏡,熒光顯微成像系統(tǒng),,激光捕獲顯微切割,,全自動切片掃描,三維超景深顯微系統(tǒng),,動物超聲系統(tǒng),,3D超景深顯微鏡,形貌探測顯微鏡,,蔡司共聚焦顯微鏡,,全自動數(shù)字切片掃描,病理切片掃描,激光切割顯微系統(tǒng),,立體顯微鏡,,國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡,精準(zhǔn)醫(yī)學(xué)顯微切割,,激光顯微切割系統(tǒng),,按需搭建顯微系統(tǒng),熒光光譜儀,,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)


公司成立伊始,,即本著“以人為本,誠信發(fā)展,,合作共贏"的企業(yè)宗旨,,快樂中結(jié)識新朋友,穩(wěn)步中追求新發(fā)展,。目前公司已經(jīng)擁有一支由專業(yè)技術(shù)人員,、營銷人員和維修人員組成的強(qiáng)大隊(duì)伍,竭誠為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢,、產(chǎn)品配套,、安裝調(diào)試、應(yīng)用指導(dǎo),、維護(hù)保養(yǎng)在內(nèi)的整套細(xì)致入微的服務(wù),。同時公司還依托中國地質(zhì)研究院、清華大學(xué),、中國農(nóng)業(yè)大學(xué),、中科院等科研院所的強(qiáng)大技術(shù)實(shí)力,特聘多名教授,、博士作為我公司提供多方面的技術(shù)支持。

公司儲備各顯微鏡現(xiàn)貨,,只要您有需求,,我們就能隨時為您提供各種產(chǎn)品選配服務(wù)。公司管理層,、營銷隊(duì)伍和技術(shù)人員都具備多年的專業(yè)技術(shù)經(jīng)驗(yàn),,相信我們的質(zhì)量和服務(wù)一定是顯微光學(xué)領(lǐng)域中無法可比的。

北京瑞科中儀科技有限公司秉承“專業(yè)的人員,,過硬的技術(shù),,優(yōu)秀的產(chǎn)品"精神,為您提供專業(yè),、及時,、周到的技術(shù)服務(wù),北京瑞科中儀科技有限公司必將成為您值得信賴的伙伴!












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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合

ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)

 低損傷刻蝕

由于離子能量低,,離子能量分布帶寬窄,,因此可以用我們的等離子體刻蝕機(jī)SI 500進(jìn)行低損傷刻蝕和納米結(jié)構(gòu)的刻蝕

高速刻蝕

對于具有高深寬比的高速硅基MEMS刻蝕,,光滑的側(cè)壁可以通過室溫下氣體切換工藝或低溫工藝即可很容易地實(shí)現(xiàn),。

自主研發(fā)的ICP等離子源

三螺旋平行板天線(PTSA)等離子源是SENTECH等離子體工藝設(shè)備的屬性。PTSA源能生成具有高離子密度和低離子能量的均勻等離子體,。它具有高耦合效率和非常好的起輝性能,,非常適用于加工各種材料和結(jié)構(gòu)。

動態(tài)溫度控制

在等離子體刻蝕過程中,,襯底溫度的設(shè)定和穩(wěn)定性對于實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量蝕刻起著至關(guān)重要的作用,。動態(tài)溫度控制的ICP襯底電極結(jié)合氦氣背冷和基板背面溫度傳感,可在-150°C至+400°C的廣泛溫度范圍內(nèi)提供了優(yōu)良的工藝條件,。


SI 500為研發(fā)和生產(chǎn)提供的電感耦合等離子體(ICP)工藝設(shè)備,。ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)基于ICP等離子體源PTSA,動態(tài)溫度控制的襯底電極,,全自動控制的真空系統(tǒng),,使用遠(yuǎn)程現(xiàn)場總線技術(shù)的的SETECH控制軟件和用于操作SI 500的用戶友好的通用接口。靈活性和模塊化是SI 500主要的設(shè)計(jì)特點(diǎn),。

SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī),,可以用于加工各種各樣的襯底,從直徑高達(dá)200 mm的晶片到裝載在載片器上的零件,。單晶片預(yù)真空室保證穩(wěn)定的工藝條件,,并且切換工藝非常容易。

SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī),,通過配置可用于刻蝕不同材料,,包括但不于例如三五族化合物半導(dǎo)體(GaAs, InP, GaN, InSb),介質(zhì),,石英,,玻璃,硅和硅化合物(SiC, SiGe),還有金屬等。

SENTECH提供用戶不同級別的自動化程度,,從真空片盒載片到一個工藝腔室到六個工藝模塊端口,,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量,。SI 500 ICP等離子刻蝕機(jī)也可用作多腔系統(tǒng)中的工藝模塊,。

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