VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
- 公司名稱 北京鴻瑞正達科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/3/7 22:57:15
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產品簡介: VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型) ,控制面板采 用觸摸屏模式,, 基片極限尺寸為 2″ ,,放置樣品的直徑為 ?50mm ,加熱溫度達 500℃,。 VTC-16-3HD 3 靶等 離子濺射儀可濺射金,、銀、銅三種靶材,, 不可以濺射輕金屬和碳,。本機采用旋轉式樣品臺, 能夠依次在同 一樣品上涂覆三層薄膜,, 適用于實驗室制備復膜的樣品,。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面 板對設備進行控制, 操作方便直觀,。該機設備小巧,, 占用實驗室空間少, 操作簡單,, 應用廣泛,。因此被廣 泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
產品名稱 | VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀 |
產品型號 | VTC-16-3HD 3 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下,, 溫度 25℃±15℃,, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1,、水:不需要 2,、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3,、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度 99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶 4,、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 5,、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1 、PLC 控制面板,, 4.3″觸摸屏,, PID 控溫方式,。 2、可控參數包括真空度,、電流,、靶材位置,、基片加熱溫度,。 |
3,、可與真空泵,、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。 4 ,、已通過 CE 認證,。 |
技術參數 | 1、輸入功率: 110V/220V 通用 2000W (含真空泵) 2,、輸出功率: 1600VDC 50mA(max 電流) |
3,、石英罩: ?160mm×120mm 4、樣品臺: ?50mm (可選購加熱型樣品臺,極限溫度可到500℃,; 極限濺射時間不可超過5min) 5,、真空泵: 120L/M 旋片式真空泵 6,、進氣口:裝有精密可調針閥,,以實現方便的調節(jié)進氣量 7、靶材:尺寸直徑 ?47mm ,,厚度 0.5mm-3mm,;可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr ,、Ni,,不可濺射氧 化物,、半導體、一些輕金屬,、 Al 、Zn ,、C 等 | |
產品規(guī)格 | 尺寸: 360mm ×350mm×3600mm;重量: 50kg |
可選配件 | 1 、KF25 真空接口,、卡箍 2,、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵( 120L/M) 4,、鉑,、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5,、加熱型樣品臺 |