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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/3/7 22:57:15
  • 訪問(wèn)次數(shù) 574

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),,專(zhuān)注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化,。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料,、金屬材料,、電池研發(fā),、地質(zhì)地礦材料,、脆性材料,、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效,、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,,材料科學(xué),,質(zhì)譜儀,電化學(xué),,電池,催化

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型 ,,控制面板采 用觸摸屏模式, 基片極限尺寸為 2″ ,,放置樣品的直徑為 ?50mm ,加熱溫度達(dá) 500℃,。 VTC-16-3HD 3 靶等 離子濺射儀可濺射金、銀,、銅三種靶材, 不可以濺射輕金屬和碳,。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái), 能夠依次在同 一樣品上涂覆三層薄膜,, 適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面 板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,, 操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,, 占用實(shí)驗(yàn)室空間少,, 操作簡(jiǎn)單,, 應(yīng)用廣泛,。因此被廣 泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。


產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-3HD 3

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,, 溫度 25℃±15℃,, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。


1、水:不需要


2,、電: AC220V 50Hz,,必須有良好接地


3,、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶


4,、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上


5,、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1 PLC 控制面板,, 4.3″觸摸屏, PID 控溫方式,。


2、可控參數(shù)包括真空度,、電流、靶材位置,、基片加熱溫度。


3,、可與真空泵,、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。


4 ,、已通過(guò) CE 認(rèn)證,。




技術(shù)參數(shù)

1,、輸入功率: 110V/220V 通用   2000W  (含真空泵)


2,、輸出功率: 1600VDC    50mAmax 電流)


3、石英罩: ?160mm×120mm


4,、樣品臺(tái): ?50mm  (可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),,極限溫度可到500℃; 極限濺射時(shí)間不可超過(guò)5min


5,、真空泵: 120L/M 旋片式真空泵


6,、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量


7,、靶材:尺寸直徑 ?47mm ,,厚度 0.5mm-3mm;可濺射 Au ,、Ag Pt ,、Cr Ni,,不可濺射氧 化物,、半導(dǎo)體、一些輕金屬,、 Al Zn ,、C 

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 360mm ×350mm×3600mm;重量: 50kg

可選配件

1 ,、KF25 真空接口、卡箍


2,、不銹鋼波紋管(600mm


3、旋片式真空泵( 120L/M


4,、鉑、銀,、鋅等各種高純度金屬靶材


5,、加熱型樣品臺(tái)




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