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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實驗室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校,、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,,助力科研成果轉(zhuǎn)化,。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料,、金屬材料,、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料,、脆性材料,、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效,、便捷,。

 

 

 

 

 

 

 

 

實驗室設(shè)備,材料科學(xué),,質(zhì)譜儀,,電化學(xué),電池,,催化


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產(chǎn)品簡介: GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理(直流二極濺射鍍膜 是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng),, 使得靶材原子或分子從固體表面射出, 在基片上沉 積形成薄膜的過程,。屬于物理 氣相沉積(PVD)制備薄膜技術(shù)的一種,。 )設(shè)計而成的簡單、可靠,、經(jīng)濟(jì)的 鍍膜設(shè)備,。GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶,旋轉(zhuǎn)樣品臺 可依次在同一樣品上涂覆三種材料,。因此,, 適用于實驗室各種復(fù)合膜樣品的制備以及非導(dǎo)體材料實驗電 極的制作,。該設(shè)備體積小,,節(jié)省實驗室空間,操作簡單,,尤其適合實驗室使用,。


產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16-3

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25±15℃,, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,,必須有良好接地


3,、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)


4,、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:不需要

主要特點

1,、設(shè)有真空表,、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài),。


2,、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,,控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得好的鍍膜效果,。


3,、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象,。





4,、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。


5,、根據(jù)電場中氣體電離特性,,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 純凈,。


6 ,、已通過 CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1,、靶直徑: ?45mm


2、真空室: ?160mm×120mm


3,、真空度:≤4×10-2mbar


4,、靶位: 3 


5 max 電流: 50mA


6,、可設(shè)定極間: 900s


7,、微型真空氣閥: 連接 ?3mm 軟管


8、極限電壓: 1600V    DC


9,、機(jī)械泵: 2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 

2

銅靶材

1 

3

鋁靶材

1 

4

進(jìn)氣針閥

1 

5

保險絲

2 

可選配件

金,、銦、銀、鉑等各種靶材




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