產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1,、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3,、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ,，,承重 50kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點

1、設(shè)有真空表,、濺射電流表,，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2,、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,，控制真空室壓強(qiáng),、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得的鍍膜效果,。

3,、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象,。

4,、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5,、根據(jù)電場中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻

純凈,。

6 ,、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1,、電源： 220V

2,、總功率： <2000W  （包括真空泵）

3、真空室： ?160mm×120mm

4 ,、樣品臺： ?50mm,，且高度可調(diào)， 可同時進(jìn)行 8 個 SEM 樣品的鍍膜

5 ,、max 均勻鍍膜： ?45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 400mm×300mm×400mm,；重量： 30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個

2

進(jìn)氣針閥

1 個

3

保險絲

2 個

可選配件

金、銦,、銀,、鉑等各種靶材