產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化,。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差,,是材料學(xué)、芯片,、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇,。
技術(shù)優(yōu)勢
· 控溫范圍可達(dá)-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統(tǒng));
· 控溫精度可達(dá)±1℃,,顯示精度1℃,,溫度均勻性±3℃;
· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機(jī)械泵,極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組,;
· 探針位移重復(fù)定位精度2μm,,分辨率3μm,單軸直線度±2μm,;
· 三同軸探針夾具,,漏電精度100fA,陶瓷結(jié)構(gòu);
· 樣品臺多個尺寸可選,,常規(guī)有4/6/8/12英寸,。
通用參數(shù)
選型表
相關(guān)配件
多種精度,多種夾具類型探針座
同軸線纜,,三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學(xué)測試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測,,功率器件測試,MEMS測試,,PCB測試,,液晶面板測試,測量表面電阻率測試,,精密儀器生產(chǎn)檢測,,航空航天實(shí)驗(yàn)室。
譜量光電可以根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,,定制配套高低溫真空探針臺系統(tǒng),,以達(dá)到更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯(lián)系詳詢