LVTS系列 高低溫真空探針臺
- 公司名稱 南京譜量光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 LVTS系列
- 產(chǎn)地 金港科創(chuàng)園1號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/6/12 10:31:12
- 訪問次數(shù) 1133
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產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化,。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差,是材料學,、芯片,、半導體器件等方向?qū)嶒灧治龅睦硐脒x擇,。
技術(shù)優(yōu)勢
· 控溫范圍可達-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)),;
· 控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,,溫度均勻性±3℃;
· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機械泵,,極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組;
· 探針位移重復定位精度2μm,,分辨率3μm,,單軸直線度±2μm,;
· 三同軸探針夾具,漏電精度100fA,,陶瓷結(jié)構(gòu);
· 樣品臺多個尺寸可選,,常規(guī)有4/6/8/12英寸。
通用參數(shù)
選型表
相關配件
多種精度,,多種夾具類型探針座
同軸線纜,,三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領域
半導體材料光電檢測,功率器件測試,,MEMS測試,,PCB測試,液晶面板測試,,測量表面電阻率測試,,精密儀器生產(chǎn)檢測,航空航天實驗室,。
譜量光電可以根據(jù)客戶實際應用需求,,定制配套高低溫真空探針臺系統(tǒng),以達到更好的測試效果及更高的性價比,,具體信息可聯(lián)系詳詢