半導(dǎo)體晶圓測試探針臺的細(xì)節(jié)介紹

來源：南京譜量光電科技有限公司 2024年03月28日 13:42

半導(dǎo)體晶圓測試探針臺集成度高,，功能實用，性價比的模塊化探針臺,，該探針臺系統(tǒng)包括顯微成像模塊,、四維調(diào)整載物臺,、真空吸附系統(tǒng),、探針座,、探針臺體等。多用于晶圓測試,、LED測試,、功率器件測試,、MEMS測試,、PCB測試、液晶面板測試,、太陽能電池片測試,、材料電阻率測試以及用于搭建材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng),、光電Mapping測試系統(tǒng)等,。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試,、MEMS測試,、PCB測試、液晶面板測試,、測量表面電阻率測試,、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等,。

細(xì)節(jié)介紹：

1.顯微鏡位移裝置：

集成高精度高穩(wěn)定性手動位移臺

XYZ行程50mm,，精度1um

整體交叉滾珠導(dǎo)軌，高精度,，高穩(wěn)定性

整體材質(zhì)航空鋁合金

2.顯微成像系統(tǒng)

可用于硅封裝的內(nèi)部觀測和光譜特性分析,，需要紅外光源和紅外攝像機(jī)

選用2X、5X,、10X,、20X,、50X四種物鏡，工作距離分別是34.6mm,，45mm,，34mm，30.8mm,，20.5mm,，鼻輪支架帶五孔鼻輪

3.探針臺臺體：

底部整體鋁合金面包板，表面噴砂氧化黑

兩邊半圓形探針架,，可以放置最多6個探針座,，方便放置探針卡

集成4路吸附開關(guān)，方便吸附

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