TLRH系列 精密型基礎(chǔ)測試探針臺
參考價(jià) | ¥40000-¥60000/件 |
- 公司名稱 南京譜量光電科技有限公司
- 品牌PLCTS
- 型號TLRH系列
- 所在地南京市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2024/11/26 18:43:33
- 訪問次數(shù) 924
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樣品臺尺寸 | 4英寸,、6 英寸、8 英寸,、12 英寸 | 樣品臺行程 | XY軸110mm,,Z軸10mm,360°粗調(diào),,±5°精調(diào) |
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樣品臺位移精度 | 3μm | 背電極測試功能 | 可引背電極 |
樣品臺真空吸附 | 進(jìn)口無油真空泵,,7L/min | 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 |
樣品臺定制化 | 可定制(尺寸/材質(zhì)/鍍金/背光) | 探針座行程 | XYZ三軸13mm |
探針座調(diào)節(jié)精度 | 3μm | 探針座固定方式 | 可調(diào)磁力吸附(可選配真空吸附,螺絲固定) |
接口形式 | 香蕉插頭,、鱷魚夾,、BNC、SMA,、N同軸接口/三同軸接口 | 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡(可升級金相顯微鏡) |
放大倍數(shù) | ~200倍(最大可升級到~1000倍) | CCD | 2000W高清彩色相機(jī) |
顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm,,分辨率3μm | 探針座數(shù)量 | 標(biāo)配 3 個(gè) |
探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺,,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,,并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。適用于對材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析,,抽查測試等用途,。
TLRH系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要,,而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺,,其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制,已成為包括場效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測試的理想之選,。
技術(shù)優(yōu)勢:
● 模塊化設(shè)計(jì),,可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試;
● 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試,;
● 探針臺整體位移精度高達(dá)3μm,,樣品臺精密四維調(diào)節(jié);
● 兼容多種光學(xué)顯微鏡,,可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測試,;
● 滿足1μm以上電極/PAD使用;
● 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi)),;
● 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,,線性移動,無回程差設(shè)計(jì),;
● 加寬探針放置架,,可放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座;
● 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能,,且可選配多種行程及驅(qū)動方式。
細(xì)節(jié)展示:
詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說明:
常規(guī)選型:
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測試步驟:
光學(xué)隔振平臺(臺面>600mm*600mm),、一臺計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口),、吉時(shí)利2400數(shù)字源表(含軟件)等。
測試時(shí)連接探針臺和數(shù)字源表,,探針接被測物體,,通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面,待連接導(dǎo)通后打開源表軟件,,選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線,。
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料光電檢測功率器件測試MEMS測試PCB測試液晶面板測試測量表面電阻率測試精密儀器生產(chǎn)檢測航空航天實(shí)驗(yàn)
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套探針臺系統(tǒng),,以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比,,具體信息可聯(lián)系詳詢。