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高低溫真空探針臺應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體材料光電檢測,，功率器件測試，MEMS測試,，PCB測試,，液晶面板測試,，測量表面電阻率測試，精密儀器生產(chǎn)檢測,，航空航天實(shí)驗(yàn)室,。
高低溫真空探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。適用于對材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析,，抽查測試等用途,。
探針臺結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用,，成本較低的簡易式探針臺,，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件,，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分,，隔振平臺探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck）,，真空吸附系統(tǒng),；譜量光電可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達(dá)到更好得使用效果和性價比,。
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測試步驟：
光學(xué)隔振平臺（臺面＞600mm*600mm）,，一臺計(jì)算機(jī)（標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB3.0接口）吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體,，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面,，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線,。
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