●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制,，與某研究所國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制，先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng),，聯(lián)合申報(bào)國家2項(xiàng),，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域,，服務(wù)于科研和國家重大項(xiàng)目需求,，具有多功能、高穩(wěn)定的特點(diǎn),，歡迎各位聯(lián)合研制,。

●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng),、工件盤系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng),、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),，可根據(jù)客戶使用需求定制,。

●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷,；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng),；

●真空抽速：4000-7000L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),，全金屬防爆真空規(guī),；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）,；

●磁控靶組件：4個(gè)矩形靶,，4個(gè)圓柱靶，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻,、射頻,、脈沖直流濺射電源；

●離子源：2套線性離子源,，匹配專用電源,；

●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì),，1路毛細(xì)保護(hù)氣路,；

●烘烤溫度：400℃,，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu),；

●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套（標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,，可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛,；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī),。

●特別說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得國家科技進(jìn)步,、國家科技發(fā)明獎(jiǎng),、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎(jiǎng)勵(lì),，公司提供一攬子技術(shù)解決方案,，同時(shí)與合作伙伴共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)。