●設備主要由真空腔體、真空系統(tǒng),、工件盤系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng),、過渡倉,、磁力機械手、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據客戶使用需求定制,。

●真空腔體：φ650X700雙層水冷,；（可根據實際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統(tǒng)；

●真空抽速：1600L/S,，進口全量程復合真空計,，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa,；（根據客戶選擇主泵確定）

●磁控靶組件：4個矩形靶,，3個圓形靶，根據客戶實際需要匹配中頻,、射頻,、脈沖直流濺射電源；

●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源,；

●氣路：4路反應氣體,，進口質量流量計，1路毛細保護氣路,；

●烘烤溫度：300℃,，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構,；

●工件盤：導軌多工位行星工件盤2套,，工件盤裝夾移動小車一輛；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機,。