激光干涉儀又稱為干涉測量裝置，是一種利用光的干涉原理來測量物體長度,、厚度,、形狀、折射率等參數(shù)的儀器,。集光,、機(jī)、電,、計算機(jī)等技術(shù)于一體,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。

中圖sj6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

技術(shù)規(guī)格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

精度高

中圖sj6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

功能廣

（1）可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

導(dǎo)軌直線度檢測

軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。