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VGB3/3plus CIF手套箱專用等離子清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

等離子清洗機清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護,、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,,快速退火爐,,光刻機,納米壓印,、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

一、CIF手套箱專用等離子清洗機 產(chǎn)品簡介

CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設備,,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設計更適合手套箱內(nèi)使用,。安裝簡單方便,性能穩(wěn)定,,實用性強,,容易維護。  

二,、CIF手套箱專用等離子清洗機 產(chǎn)品特點

1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,,可存儲,、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),,機器運行,、停止提示。

2. PLC工控機控制整個清洗過程,,手動,、自動兩種工作模式。

3. 真空倉體,,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),,耐腐蝕無污染。

4. 自動匹配器,,功率無極可調(diào),。

5. 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,雙路氣體控制氣體流量,,可輸入氧氣,、氬氣、氮氣,、氫氣或混合氣等氣體,,氣體分配均勻,經(jīng)濟實用,。

6. HEPA高效過濾,,氣體返填吹掃,防止二次污染,。

7. 弧形等離子激發(fā)板,,等離子激發(fā)能力更強。

8. 分體式設計,,便于手套箱內(nèi)使用,。

9. 安全保護,倉門打開,,自動關(guān)閉電源,。

三、技術(shù)參數(shù)

型號

VGB3

VGB3Plus

艙體尺寸

D178xΦ150mm

D178xΦ150mm

艙體容積

3L

3L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-150W可調(diào)

氣體控制

雙浮子流量計(標配)

有效處理尺寸

L200xW155mm

時間設定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

AC220V 50-60Hz







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