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customized 光學(xué)輪廓儀

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光學(xué)輪廓儀輪廓儀

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù),。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),,快速退火爐,,光刻機(jī),納米壓印,、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

一、產(chǎn)品概述:

光學(xué)輪廓儀是一種高精度的測(cè)量?jī)x器,,利用光學(xué)技術(shù)對(duì)材料表面的輪廓和形貌進(jìn)行非接觸式測(cè)量,。它通過分析反射光和干涉圖樣,能夠獲取樣品表面的微觀特征,,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、電子制造和精密工程等領(lǐng)域

二,、設(shè)備用途/原理

·設(shè)備用途

光學(xué)輪廓儀主要用于測(cè)量材料表面的粗糙度,、形貌和高度變化。常見應(yīng)用包括半導(dǎo)體器件的表面特性分析,、光學(xué)元件的質(zhì)量檢測(cè),、涂層厚度測(cè)量以及微結(jié)構(gòu)的表征。這些數(shù)據(jù)對(duì)于材料的性能評(píng)估,、質(zhì)量控制和研發(fā)過程至關(guān)重要,。

·工作原理

光學(xué)輪廓儀的工作原理基于光的干涉和反射現(xiàn)象。儀器發(fā)射光束照射到樣品表面,,反射回來的光與參考光束進(jìn)行干涉,。通過分析干涉圖樣的變化,儀器能夠精確測(cè)量樣品表面的高度和形貌特征,。由于采用非接觸式測(cè)量,,光學(xué)輪廓儀能夠避免對(duì)樣品的損傷,適合用于脆弱或敏感材料的表征,。最終生成的輪廓圖可以提供詳細(xì)的表面特征信息,,幫助研究人員進(jìn)行深入分析。

三,、主要技術(shù)指標(biāo):

1. 測(cè)量模式:PSl, USl, VSl, 選配的 Film

2. 大掃描量程:≤10 mm

3. 橫向分辨率:

4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)

5. 0.13 um (with AcuityXR)

6. 垂直分辨率:<0.01 nm

7. 臺(tái)階高度重復(fù)性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

8. 大掃描速度:122 um/sec (with laser reference)

9. 樣品反射率范圍:0.05% to 100%

10 .樣品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ,;249 mm H 自動(dòng)樣品臺(tái)

11. 大樣品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

12. XY 品臺(tái):300 mm 自動(dòng)樣品臺(tái)

13. Z 軸聚焦:249(350 mm 不帶自動(dòng)臺(tái))

14. 光源:利雙LED光源

15. 物鏡:

16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

17. LWD: 1X, 2X, 5X,10X

18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

19. Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

20. 放大器:0.55X,,0.75X,,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules         




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