中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,，在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,；

2)一體化操作的測量與分析軟件,，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。

3)提供調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平,、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波、修描,、尖峰去噪等功能,；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波,、過濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度,、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；幾何輪廓分析包括臺階高、距離,、角度,、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能,；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,，可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。

性能特點(diǎn)

1、高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),，儀器測量精度高,；

2）儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性,。

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口,，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。