臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量儀器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度,、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。臺(tái)階儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性,、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣,，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測(cè)量穩(wěn)定、便捷,、高效,，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué),、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所,、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED,、太陽能,、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車,、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域,。

NS200臺(tái)階儀特性：

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求

線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級(jí)分辨率,，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征,。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測(cè)力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌,。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),，5MP超高分辨率彩色相機(jī)

5.全自動(dòng)XY載物臺(tái)， Z軸自動(dòng)升降,、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)

6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊,，為對(duì)不同被測(cè)件的高度測(cè)量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持。

NS200臺(tái)階儀典型應(yīng)用：