中圖儀器NS系列高精度探針式輪廓儀單拱龍門式設計,，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,，提高了測量精度,。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,，可以準確測量蝕刻,、濺射、SIMS,、沉積,、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù),。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力,。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度，即可開始測量,。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置，可根據(jù)橫向和縱向距

離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量,。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域

寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置,，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,，在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑，在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡,。

4.快速換針功能

NS系列高精度探針式輪廓儀采用了磁吸式測針,，當需要執(zhí)行換針操作時，可現(xiàn)場快速更換掃描測針,，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,，確保換針后的精度和重復性，減少維護煩惱,。

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,，結(jié)合單拱龍門式設計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面，采用超低慣量設計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量,；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動,，真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

應用場景

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）