SuperViewW1 白光干涉3D輪廓儀
參考價(jià) | ¥ 960000 |
訂貨量 | ≥1 臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 深圳市中圖儀器股份有限公司
- 品牌 CHOTEST/中圖儀器
- 型號(hào) SuperViewW1
- 產(chǎn)地 學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園B1棟2樓,、5樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/5/12 17:49:26
- 訪問(wèn)次數(shù) 1490
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三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),,影像儀,,閃測(cè)儀,一鍵式測(cè)量?jī)x,,激光干涉儀,,白光干涉儀,光學(xué)輪廓儀,,激光跟蹤儀
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 外形尺寸 | 900×700×604mm |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,航天,汽車(chē),綜合 | 重量 | 150kg |
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,,并獲取反映器件表面質(zhì)量2D,、3D參數(shù),。
產(chǎn)品功能
1)具備各種類(lèi)型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能,;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別,;
3)具備校平,、去除形狀、去噪,、濾波等數(shù)據(jù)處理功能,;
4)具備粗糙度分析,、輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能,;
5)具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量,、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量,、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能,;
6)具備一鍵分析、多文件分析等快速,、批量分析功能,;
7)具備word,、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,。
產(chǎn)品性能
縱向掃描:≤10.3mm,,與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速:50FPS/s
粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)
光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)
至大點(diǎn)數(shù):1048576(標(biāo)準(zhǔn))
臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。