SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電,、為納米材料、光學(xué)加工,、超精密加工,、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度,、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析,。對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、面形輪廓,、腐蝕情況,、粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測(cè)量：粗糙度,、微觀輪廓尺寸,、角度、面積,、體積,，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),，納米波動(dòng),，也無可藏匿；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,，讓“以卵擊石”也能安然無恙,；

自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”,；

雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振,，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖,，我自巋然不動(dòng)”,。

SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù),，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面,，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開始掃描測(cè)量,。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像,，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量,。