大理石氣浮隔振平臺

  大多數(shù)光學實驗或工業(yè)生產都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩(wěn)定性和不準確性,，嚴重干擾生產和實驗的進行,，振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內部的振動，地面固有振動,，工作人員踩踏地板以及開,、關門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動，這一類振動需通過光學平臺的隔振支架衰減,；而來自系統(tǒng)內部的振動包括儀器振動,、氣流、冷卻水流等,，則需依靠光學平臺的桌面阻尼來隔絕,。

  隨著光學加工設備和測量儀器精度的不斷提高， 其對工作環(huán)境的振動隔離提出了更加嚴苛的要求,。例如,，離子激光器泵浦噴流染料激光器時，激光器的振動要求達到了微米級,；由于可見光波長約為0.5微米,，即使振動在次微米級別時，以光的干涉為基礎的實驗（如全息攝影） 也將無法進行,； LμmArray 公司的并行激光直寫設備的直寫頭振動線位移不能超過15nm ;超精密機械加工的表面粗糙度要求已經達到 0.1nm  ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達到亞納米級,。因此，對光學加工設備及光學測量儀器進行有效的隔振是保證科研生產活動正常進行的必要條件,。

大理石氣浮隔振平臺

◆臺面采用雙零級大理石,，表面精度高，平面度高,，穩(wěn)定性好

◆創(chuàng)譜大理石氣浮隔振平臺隔振基礎同樣采用精密囊式空氣彈簧隔離,、減振液和高阻尼小孔，隔振性能良好

◆輕松調節(jié),，穩(wěn)定可靠結構十分緊湊

◆自動水平,，自動充氣，全部氣動執(zhí)行元件,，采用原裝德國FESTO產品

◆*空氣機氣源,，噪聲低（小于65分貝）

技術參數(shù)

◆水平方式：自動充氣，自動平衡

◆表面粗糙度：＜0.08μm

◆固有頻率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重復定位精度：±0.05mm

應用

◆精密測量儀器 ◆醫(yī)療設備 ◆包裝機械 ◆精密電子元器件裝配 ◆光譜測量與校準 ◆激光干涉 ◆光電儀器研發(fā)與測試 ◆精密機械制造