氣浮隔振平臺由精密氣浮隔振支架、阻尼隔振墊,、空氣壓縮機,、光學面板組成，整體高度800mm,，由臺面和支架組成,。對于氣浮隔振平臺，除了具備剛性阻尼隔振平臺特點之外,，還有有優(yōu)異的隔振性能,，更加穩(wěn)定的隔振效果，更加精準的高度控制,。

產品信息

當外界振動源或者負載發(fā)生變化時,，為了保持良好的隔振效果，通?？梢酝ㄟ^改變空氣壓力和改變空氣彈簧的行程來實現,；改變空氣壓力通過氣浮支架的油水分離器來實現，改變空氣彈簧行程通過氣浮支架的高度調節(jié)螺桿來實現,。

創(chuàng)譜儀器精密氣浮隔振平臺根據臺面的不同,，分為鐵磁不銹鋼臺面氣浮隔振平臺和大理石精密氣浮隔振平臺。

技術參數

◆臺面整體采用三層夾心結構,，上臺面為410鐵磁不銹鋼,，中心為蜂窩/井字鋼支撐結構，底板為碳鋼,，在保證隔振性能得同時,，提高了剛性、穩(wěn)定性,，臺面精磨

◆氣浮支架采用囊式空氣彈簧,，每個支撐腿配備由單獨氣室，采用整體焊接四支撐結構,，下方為阻尼隔振墊,，隔振性能好

◆氣浮支架底部帶有高度調節(jié)功能，可以解決地面不平引起的支架扭曲,、變形等情況

◆采用原裝德國FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動調整水平,臺面的高度由空氣調節(jié)閥在桌面運動的激勵下維持和控制,，把系統(tǒng)對微振的響應反饋到系統(tǒng)中, 改變隔振特性,當負載沿工作表面移動或發(fā)生突然變化時能夠使臺面自動維持水平.瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學隔振平臺的隔振效果

◆標配*空氣壓縮機，工作壓力為0.35～0.6Mpa,，標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作

◆水平方式：自動充氣,，自動平衡

◆隔振方式：囊式空氣彈簧

◆平面度：≤0.03mm/600mm×600mm

◆固有頻率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重復定位精度：±0.05mm

◆臺面厚度：100/200/300mm

產品應用

◆顯微鏡系統(tǒng) ◆激光測試 ◆光學制造 ◆光電儀器研發(fā)與測試 ◆生物醫(yī)療 ◆精密機械制造 ◆精密化工和無損檢測 ◆激光干涉 ◆全息曝光 ◆集成電子電路 ◆拉曼光譜實驗 ◆精密檢測校準 ◆對振動要求較高的儀器設備

規(guī)格參數

參數選型