SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀以白光干涉技術為原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數，所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合,。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應變測量以及表面形貌測量。

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：100萬～400萬像素可選

干涉物鏡：10×,，（2.5×,，5×，20×，50×,，100×可選）

XY平臺：行程140X100mm,、200X200mm、300X300mm可選   尺寸 320X200mm,、300X300mm,、450X450mm可選

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整范圍：±2°,、±5°、±6°可選

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%,，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測,，一鍵分析、測量速度快

生產企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細產品信息,，請聯系我們獲取

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀可以同時有探針掃描和樣品臺掃描兩種模式,。探針掃描利用電壓驅動探針在大范圍達到500x500微米的區(qū)域內移動并且產生*分辨率的圖像。樣品臺掃描則是移動樣品臺來產生高分辨率的圖像,。只需要一鍵,，就可以切換兩種模式?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數,。

主要應用領域

1,、用于太陽能電池測量；

2,、用于半導體晶圓測量,；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4,、用于機械部件的計量；

5,、用于塑料,，金屬和其他復合型材料工件的測量,。