化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>環(huán)境監(jiān)測儀器>氣體檢測儀>其它氣體檢測>DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)
DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥ 600000 |
訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 北京杜克泰克科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DKG-TGV301
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/14 10:15:20
- 訪問次數(shù) 4937
示蹤氣體監(jiān)測系統(tǒng)通風(fēng)效率測量系統(tǒng)SF6在線監(jiān)測系統(tǒng)GIS氣密性試驗(yàn)半導(dǎo)體HPM
聯(lián)系方式:杜克泰克18518707030 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,農(nóng)業(yè),石油,能源 |
---|---|---|---|
1 | 1 |
示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)概述
隨著能量效率的提高,,以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯,,半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理,,可能會造成操作人員的傷亡,引起設(shè)備乃至整個(gè)工廠的燒毀,。
半導(dǎo)體行業(yè)需要測量機(jī)臺通風(fēng)效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。
SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗(yàn)方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率,。
SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。
檢測方案
高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統(tǒng),,是一套用于在線實(shí)時(shí)測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風(fēng)效率的準(zhǔn)確,、可靠、高效的解決方案,。
光聲光譜氣體分析儀可以同時(shí)檢測最多9種氣體和水汽,,檢測氣體種類是從一個(gè)超過300種的氣體數(shù)據(jù)庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,,還可以同時(shí)檢測室內(nèi)其它的氣體濃度,比如CO2,、甲醛、苯系物等VOC,,為評價(jià)半導(dǎo)體機(jī)臺通風(fēng)效率提供更多的數(shù)據(jù)支持。
整個(gè)測量系統(tǒng)由光聲光譜氣體檢測儀,、多點(diǎn)采樣器、專用軟件組成,;在用戶要求的情況下,,還可以集成釋放裝置MFC,,管路等一體化解決方案,。
示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)特性
光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術(shù)
可同時(shí)測量SF6等多種示蹤氣體及VOC
檢測限低,,測量精度高(ppb)
測量響應(yīng)快
多點(diǎn)采樣器,可擴(kuò)展12-64個(gè)采樣點(diǎn)
無需預(yù)處理、無耗材,、無載氣
可定制釋放裝置和管路
應(yīng)用
半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能檢測(國際半導(dǎo)體協(xié)會SEMI S6標(biāo)準(zhǔn))
SF6泄露檢測
相關(guān)分類
- 煙氣分析儀
- 甲醛分析儀
- 粉塵測定儀/粉塵儀
- 紅外線氣體分析儀
- 多組分氣體分析儀
- 一氧化碳分析儀
- 二氧化碳分析儀
- 氨氣分析儀/氨分析儀
- 汽車尾氣分析儀
- 有毒有害氣體監(jiān)測儀
- 臭氧檢測儀
- 煙氣/大氣重金屬在線分析儀
- 高純氣/特氣分析系統(tǒng)
- VOC檢測儀/TVOC檢測儀
- 臭氧分析儀(O3)
- 熱導(dǎo)式氣體分析儀
- CO,、SO2,、HCL、NOX,、空氣檢測儀
- PM2.5/PM10/PM1/TSP大氣顆粒物監(jiān)測儀
- 甲烷/非甲烷烴檢測儀
- 氮氧化物分析儀(NOX)
- 油煙檢測儀
- 惡臭測定儀
- 粉塵采樣器
- 氣體采樣器/大氣采樣器
- 粒子計(jì)數(shù)器
- 煙塵采樣器,、煙氣采樣器
- 顆粒物采樣器
- 零氣發(fā)生器
- TSP采樣器
- 空氣微生物采樣器
- PM2.5采樣器
- PM10采樣器
- 粗、細(xì)顆粒物雙道采樣器
- 二噁英采樣儀/二噁英采樣器
- 酸雨采樣器
- 激光雷達(dá)
- 太陽光度計(jì)
- 塵量分析儀
- 氣體稀釋儀
- 煙度計(jì)
- 氣溶膠
- 氣體在線自動監(jiān)測系統(tǒng)
- 灰霾監(jiān)測系統(tǒng)
- 空氣質(zhì)量自動監(jiān)測系統(tǒng)
- 煙氣汞連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)
- 氣體報(bào)警器/探測器/傳感器
- 環(huán)境污染事故應(yīng)急監(jiān)測儀器
- 溫室氣體監(jiān)測儀
- 蘇瑪罐采樣器
- 揚(yáng)塵監(jiān)測儀
- 降水/降塵自動采樣監(jiān)測儀
- 煙氣汞采樣器
- 氨逃逸在線監(jiān)測系統(tǒng)
- 粒徑譜儀