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青島明華電子儀器有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>環(huán)境監(jiān)測儀器>氣體檢測儀>其它氣體檢測>DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)

DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)

參考價(jià) 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京杜克泰克科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 DKG-TGV301
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/1/14 10:15:20
  • 訪問次數(shù) 4937

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       北京杜克泰克科技有限公司,,是一家專注于痕量級微量級氣體,、液體,、固體等介質(zhì)含量分析的科技公司,,尤其是光聲光譜技術(shù)(PAS)、傅里葉紅外光譜技術(shù)(FTIR),、紫外差分吸收光譜等光電技術(shù)的應(yīng)用,致力于環(huán)境監(jiān)測,、半導(dǎo)體特氣、電力能源,、石油天然氣、航空航天,、催化材料、農(nóng)林畜牧,、生態(tài)研究等領(lǐng)域的ppm,,ppb,,ppt級微量氣體分析與測量,,并提供相應(yīng)的氣體分析解決方案。


      為各大高校,、科研院所、國有大型企業(yè),、高科技企業(yè),、檢驗(yàn)監(jiān)督等單位提供可靠準(zhǔn)確的測試測量產(chǎn)品與服務(wù),。主要產(chǎn)品有:溫室氣體通量觀測系統(tǒng)、煤自燃監(jiān)測系統(tǒng),、潔凈室AMC空氣分子污染物檢測系統(tǒng)、溫室氣體通量觀測系統(tǒng),、痕量級多氣體分析儀,、微量氨氣分析儀等,。

 

 

 

 

 

 

光聲光譜氣體分析儀,,便攜溶解氧分析儀,沼氣分析儀,,砂石監(jiān)測儀,溫室氣體分析儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,農(nóng)業(yè),石油,能源
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示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)概述

隨著能量效率的提高,,以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯,,半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理,,可能會造成操作人員的傷亡,引起設(shè)備乃至整個(gè)工廠的燒毀,。

半導(dǎo)體行業(yè)需要測量機(jī)臺通風(fēng)效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗(yàn)方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率,。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高



檢測方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統(tǒng),,是一套用于在線實(shí)時(shí)測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風(fēng)效率的準(zhǔn)確,、可靠、高效的解決方案,。

光聲光譜氣體分析儀可以同時(shí)檢測最多9種氣體和水汽,,檢測氣體種類是從一個(gè)超過300種的氣體數(shù)據(jù)庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,,還可以同時(shí)檢測室內(nèi)其它的氣體濃度,比如CO2,、甲醛、苯系物等VOC,,為評價(jià)半導(dǎo)體機(jī)臺通風(fēng)效率提供更多的數(shù)據(jù)支持。

整個(gè)測量系統(tǒng)由光聲光譜氣體檢測儀,、多點(diǎn)采樣器、專用軟件組成,;在用戶要求的情況下,,還可以集成釋放裝置MFC,,管路等一體化解決方案,。


示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)特性

  • 光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術(shù)

  • 可同時(shí)測量SF6等多種示蹤氣體及VOC

  • 檢測限低,,測量精度高(ppb)

  • 測量響應(yīng)快

  • 多點(diǎn)采樣器,可擴(kuò)展12-64個(gè)采樣點(diǎn)

  • 無需預(yù)處理、無耗材,、無載氣

  • 可定制釋放裝置和管路


應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能檢測(國際半導(dǎo)體協(xié)會SEMI S6標(biāo)準(zhǔn))

  • SF6泄露檢測




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