獵戶(hù)座3100系統(tǒng)：完善的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染（AMC ）對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要,。

快速監(jiān)測(cè),、報(bào)警、極低濃度測(cè)量,、寬測(cè)量區(qū)域,、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨,、胺類(lèi),、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類(lèi)等濃度測(cè)量,，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí),，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量,。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器,、離子色譜,、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢,，操作過(guò)程太復(fù)雜,，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

CEAS （腔增強(qiáng)吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖,，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量,，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng),。為了保證清晰度,，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。

EP增強(qiáng)型版本集成了壓力傳感器和內(nèi)部溫度控制器,，具有超穩(wěn)定性測(cè)量腔室,，防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差,。

       CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）相比于第一代的CRDS（腔衰蕩光譜）技術(shù),，有許多已被證明的優(yōu)勢(shì)。簡(jiǎn)而言之,，激光束不需要 共振耦合進(jìn)入測(cè)量腔室（例如光束不需要嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)）,。DUKE分析儀器和系統(tǒng)具有天生安裝簡(jiǎn)單、機(jī)械牢固,、防護(hù)結(jié)實(shí)等特點(diǎn),。