AMC空氣分子污染物ppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)

一、AMC空氣分子污染物ppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)介紹：

醋酸,、草酸 ,、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP),、六甲基二硅胺烷（HMDS）,、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）,、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）,、異丙醇、丙酮,、硼酸*酯,、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,，特別是微電子行業(yè),，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加,。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標,，通過污染物源頭控制、傳播控制,，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn),，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭,、穩(wěn)定生產(chǎn),、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

uVOC-CAM提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案,，不需要采樣,，離線測量。

關(guān)鍵詞：AMC監(jiān)測,，AMC在線監(jiān)測,，AMC在線檢測，空氣分子污染物監(jiān)測,，半導(dǎo)體潔凈室氣體分析儀

二,、阿瑞斯-µ VOCppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢：

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出,、設(shè)備和材料釋出,、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生,、管路泄露,、設(shè)備維護修理時散發(fā)等,，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室,。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果,，比如晶圓廢棄、停產(chǎn),、重新凈化潔凈室等,。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要,。

污染物從加工到超凈間的擴散,，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭,，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑,、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置,、操作人員等,。

µ-VOC  系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量,，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因,。

三、阿瑞斯-µ VOCppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)亮點

一般特點

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能,。

四,、應(yīng)用

潔凈間污染物監(jiān)測

過濾器狀態(tài)監(jiān)測

加工過程全組份測量診斷污染物

通過成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產(chǎn)過程化學(xué)藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過程而較為著名,。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成*基硅醇和NH3，等等很多類似的化學(xué)藥劑的分解與釋放,，都造成AMC的增加,。而實時迅速測量這些成份濃度的µ-VOC 系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時間和路線。

五,、工作原理

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化,，從而確定不同組份的濃度,，*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。