獵戶(hù)座 3100S

AMC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

一,、AMC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 3100S產(chǎn)品介紹：

1,、實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響，對(duì)很多微量污染物極為敏感,，比如氨氣或者酸性氣體都會(huì)給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)較大的危害,，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),，而實(shí)際上空氣分子污染（AMC）的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要,。

2、獵戶(hù)座3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)連續(xù)分析儀器,，將增加半導(dǎo)體器件阻抗一致性,、保證更長(zhǎng)的過(guò)濾器壽命,、減少生產(chǎn)過(guò)程的停工時(shí)間,。

3、ETG HMI（人機(jī)交互界面）軟件可以實(shí)時(shí)觀察,、實(shí)時(shí)測(cè)量,、實(shí)時(shí)操作對(duì)不同空間不同位置的NH₃、HCL,、HF進(jìn)行分析,，軟件專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā),，對(duì)于深紫外光刻工藝過(guò)程中監(jiān)測(cè)與控制空氣分子污染（AMC）提供有力的支持，軟件集成了多點(diǎn)采樣（MS）控制功能,，具有實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)曲線,、報(bào)警、存儲(chǔ),、趨勢(shì),、歷史曲線、分析等功能,。

二,、AMC在線監(jiān)測(cè) 獵戶(hù)座 3100S 系統(tǒng)介紹：

1、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染（AMC）對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要,。

2,、快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警,、極低濃度測(cè)量,、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一,。

3,、深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類(lèi),、N-甲基吡咯烷酮NMP,、酸類(lèi)等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng)時(shí),，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量,。

4、傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法,。包括撞擊濾塵器,、離子色譜、化學(xué)熒光法,，這些方法分析速度太慢,，操作過(guò)程太復(fù)雜，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確,。

5,、ETG采用被證明的CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)解決AMC（空氣分子污染物）監(jiān)測(cè)難題，可快速測(cè)量痕量級(jí)NH₃,、HCL,、HF，采用脈沖熒光法測(cè)量SO₂，采用增強(qiáng)型GC-FID測(cè)量VOCs,。

6,、獵戶(hù)座 3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)測(cè)量痕量級(jí)NH₃、HCL,、HF并集成了uVOC-CAM特性,，是半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室AMC（空氣分子污染）測(cè)量的有力工具。

7,、獵戶(hù)座 3100S也集成了多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),，可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器，并讀出測(cè)量結(jié)果,。獵戶(hù)座 3100S內(nèi)嵌的報(bào)警,、報(bào)告、分析軟件是由多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開(kāi)發(fā),。

8,、獵戶(hù)座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來(lái)自4~6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù),。

9,、每臺(tái)分析儀配有內(nèi)置計(jì)算機(jī)（Linux OS），可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出,，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制,，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)可以連接ETG公司總部或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷(xiāo)商服務(wù)商，進(jìn)行操作或者診斷,。

10,、使用者可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作,，遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)多級(jí)管理權(quán)限控制和操作,。

獵戶(hù)座 3100S 系統(tǒng)配置圖如下

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1,、增強(qiáng)靈敏度

儀器基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù),，極簡(jiǎn)使用、便捷操作,，所有部件（包括內(nèi)置真空泵,、鍵盤(pán)、鼠標(biāo),、顯示器等）幾分鐘內(nèi)可開(kāi)始記錄數(shù)據(jù),，其他大氣中的水汽、CO₂,、O₂,、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF,、NH₃等測(cè)量構(gòu)成交叉干擾,。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可以存儲(chǔ)大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤(pán)上，可同過(guò)數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù),，可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù),，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫(kù)，適合于苛刻的半導(dǎo)體痕量級(jí)氣體應(yīng)用,。

2,、檢測(cè)限/精度 (1-σ)  :HCl 0.1 ppb ; HF 0.1 pp ; NH₃ < 0.1 ppb

快速響應(yīng)時(shí)間

每個(gè)通道5秒

系統(tǒng)即插即用

系統(tǒng)可在潔凈間幾分鐘內(nèi)簡(jiǎn)單操作完成

低成本，因CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）系統(tǒng)不需要特別的維護(hù)保養(yǎng)和備品備件,，所以很好的降低了使用者成本,。

四、CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖,，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量,，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng),。為了保證清晰度,，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。