等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn)：

等離子源采用頻率為13.56MHz射頻發(fā)生器，同時具備物理清洗和化學(xué)清洗能力,。

電源功率為200W,，覆蓋常規(guī)處理需求

創(chuàng)新設(shè)計，可調(diào)整電極之間距離,，調(diào)整等離子體濃度和強(qiáng)度,，大提升處理效率和能力

真空腔體和管道連接件均采用316不銹鋼，電極6061航空鋁合金,，配件材質(zhì)精良,，保證設(shè)備穩(wěn)定高效運(yùn)行

樣品處理面積可達(dá)125mm（大處理面積可達(dá)200mm，如有需求請咨詢銷售人員）

4.3寸工業(yè)級觸摸屏,，操作簡單,，可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù)

性能穩(wěn)定可靠，質(zhì)量穩(wěn)定,，自主研發(fā),，售后有保障

等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品參數(shù):

1. 真空腔規(guī)格: 316不銹鋼腔體,直徑210mm*(深)230mm 約4L

2. 電極：兩個自適應(yīng)平板電極，材質(zhì)T6061鋁合金

3. 電極尺寸：120*135mm 間距20~75mm 可調(diào)

4. 等離子體發(fā)生器：RF射頻發(fā)生器,，頻率：13.56MHz

5. 功率：0-200W連續(xù)可調(diào),，精度1W

6. 氣體控制：針式氣體流量閥，標(biāo)配1路氣體

7. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏

控制軟件功能：界面顯示實(shí)時工作狀態(tài),，

可顯示設(shè)置值與實(shí)際值,，便于實(shí)時控制,。

可自由設(shè)置等離子功率，通入氣體時間

全手動控制和全自動控制可選

8. 保護(hù)裝置：一鍵急停保護(hù)按鈕