專業(yè)電子束曝光系統(tǒng)

電子束直寫系統(tǒng)  EBPG5150

自動化和高速度的電子束直寫技術

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150使用了155mm大小的樣品臺,，采用跟電子束曝光機EBPG5200一樣的通用光刻平臺設計，對電子束直寫應用進行了優(yōu)化,。它可以載入不同大小的樣品,包括多片散片以及完整的硅片,。 

Improved Specifications

• Ultra-fast, low-noise pattern generator 125 MHz
• Extreme beam current up to 350 nA
• Excellent direct write performance with overlay accuracy of ≤ 5nm

• 高束流密度，熱場發(fā)射電子槍可以在20,、50和100kV之間切換
• 155mm的平臺
• 小曝光特征尺寸小于8nm
• 高速度曝光,，可采用50或100MHz的圖形發(fā)生器
• 在所有KVs加速電壓下,，可連續(xù)改變的寫場大小，大可以到1mm
• GUI人機交互界面友好,，簡潔易用,，適用于多用戶環(huán)境
• 多項靈活可選擇的配置，可以適用于不同應用的需求

可選的系統(tǒng)增強升級

EBPG5150可以選擇不同的升級選項,，以滿足用戶不同的技術和預算需求,。讓*的高校等研究類用戶也可以使用這款非常先進、高自動化的電子束光刻系統(tǒng),。

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150 應用

• 電子束曝光用于制作GaAs T型器件

• 微盤諧振器

• 開口環(huán)諧振器

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150 產品詳情