化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測(cè)量/計(jì)量?jī)x器>表面測(cè)量?jī)x器>輪廓儀>NanoX-2000/3000 輪廓儀——表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,電氣 |
*代理商——岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
Subnano 輪廓儀

NanoX-2000/3000系列,、3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI),、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓,、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
美國(guó)硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件
關(guān)鍵硬件采用美國(guó),、德國(guó)、日本等
PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)
Nikon干涉物鏡
NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件
TMC光學(xué)隔振臺(tái)
測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到shijie*水平(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院證書)
輪廓儀——表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度測(cè)量參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù):
n 測(cè)量模式 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),,單色光垂直掃描干涉(CSI)
n 樣 品 臺(tái) 150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)
XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,,傾斜:±5°
可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)
n CCD相機(jī)像素 標(biāo)配:1280×960
n 視場(chǎng)范圍 560×750um(10×物鏡)
具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)
n 光學(xué)系統(tǒng) 同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)
n 光 源 高效LED
n Z方向聚焦 80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)
n Z方向掃描范圍 精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá)10mm )
n 縱向分辨率 <0.1nm
n RMS重復(fù)性* 0.005nm,,1σ
n 臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75%,;重復(fù)性 ≤0.1%,1σ
n 橫向分辨率 ≥0.35um(100倍物鏡)
n 檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的CCD和掃描模式有關(guān)
輪廓儀——表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度測(cè)量應(yīng)用