光學輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量

來源：岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司 2020年08月03日 09:47

光學輪廓儀-臺階高度測量,、表面粗糙度測量

Profilm3D光學輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量儀使用了進的垂直掃描干涉(VSI)結(jié)合高精度相移干涉(PSI)測量.以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級,。通過光學掃描儀掃描表面輪廓可進行臺階高度測量,，表面粗糙度測量,。

n干涉測量法是研究同一光源發(fā)出的多個光束的波陣面之間的干涉。干涉計是一種把從一個光源發(fā)出的單束光分成兩束,，然后又重新合并以產(chǎn)生干涉圖案的光學裝置

VSI: 當掃描移動時,，被測試的零件的不同區(qū)域被聚焦(零光程差的地方在干涉條紋之間具有大的對比度)。通過對大對比點的確認和知道馬達的位置,，就可以重新構(gòu)造表面形狀,。

PSI：PZT (在加電壓時，壓電陶瓷會改變它的尺寸)以 l / 8的步長來推動鏡子,。由于光從鏡子反射,，在兩束光之間產(chǎn)生一個 l/4的相位漂移,l/4相位漂移相當于90度或p/2的相位漂移。

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