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光學(xué)輪廓儀-臺(tái)階高度測(cè)量、表面粗糙度測(cè)量
光學(xué)輪廓儀-臺(tái)階高度測(cè)量,、表面粗糙度測(cè)量
Profilm3D光學(xué)輪廓儀-臺(tái)階高度測(cè)量,、表面粗糙度測(cè)量儀使用了進(jìn)的垂直掃描干涉(VSI)結(jié)合高精度相移干涉(PSI)測(cè)量.以前所未見的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級(jí)。通過光學(xué)掃描儀掃描表面輪廓可進(jìn)行臺(tái)階高度測(cè)量,，表面粗糙度測(cè)量,。
n干涉測(cè)量法是研究同一光源發(fā)出的多個(gè)光束的波陣面之間的干涉。干涉計(jì)是一種把從一個(gè)光源發(fā)出的單束光分成兩束,，然后又重新合并以產(chǎn)生干涉圖案的光學(xué)裝置
VSI: 當(dāng)掃描移動(dòng)時(shí),，被測(cè)試的零件的不同區(qū)域被聚焦(零光程差的地方在干涉條紋之間具有大的對(duì)比度)。通過對(duì)大對(duì)比點(diǎn)的確認(rèn)和知道馬達(dá)的位置,，就可以重新構(gòu)造表面形狀,。
PSI：PZT (在加電壓時(shí)，壓電陶瓷會(huì)改變它的尺寸)以 l / 8的步長來推動(dòng)鏡子,。 由于光從鏡子反射,，在兩束光之間產(chǎn)生一個(gè) l/4的相位漂移,l/4相位漂移相當(dāng)于90度或p/2的相位漂移。
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