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晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x,、硅片薄膜膜厚儀

晶圓薄膜測(cè)厚/晶圓涂層膜厚儀/晶圓涂層膜厚儀/硅片薄膜厚度測(cè)量/晶圓涂層膜厚儀/納米級(jí)薄膜測(cè)厚儀

  測(cè)量厚度、折射率,、反射率和穿透率：

-     單層膜或多層膜疊加

-     單一膜層

-     液態(tài)膜或空氣層

  不同條件下的測(cè)量,，包括：

-     在平面或彎曲表面

-     光斑小可達(dá)20微米

-     桌面式、XY坐標(biāo)自動(dòng)化膜厚測(cè)量,，或在線配置

1,、規(guī)格參數(shù)

2、晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x、硅片薄膜膜厚儀配件選用指南

光斑配件選用,、光源選用（測(cè)量波段選擇）

3,、原理簡(jiǎn)介

 白光干涉，紫外波段——紅外波段

4,、應(yīng)用

可測(cè)量單層,、多層薄膜

半導(dǎo)體膜層                                  液晶顯示器            

  光刻膠                                       OLED

  加工膜層                                     玻璃厚度

  介電層                                       ITO和TCOs

光學(xué)鍍層                                      生物醫(yī)學(xué)

  硬涂層                                        聚對(duì)二甲苯

  抗反射層                                      醫(yī)療器械

          客戶常用于測(cè)量、硅片（單晶硅）襯底沉積的氧化硅（SiO2）,、非晶硅（a-Si）,、多晶硅（p-Si）、氮化硅（Si3N4）,、碳化硅（SiC）,、光刻膠（高分子化合物）、非金屬化合物,、金屬涂層（眼鏡鏡片涂層）,、無機(jī)非金屬膜層（用于半導(dǎo)體行業(yè)如液晶面板、芯片制造工藝）等等,。

5,、服務(wù)項(xiàng)

  樣機(jī)試用、樣品代測(cè),、工程師售前售中售后全方面技術(shù)支持,。