英國(guó)Ossila公司勻膠旋涂?jī)x，操作簡(jiǎn)單,，方便實(shí)用,，旋涂均勻，結(jié)構(gòu)小巧緊湊,，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案,，其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮?dú)?，就能達(dá)到很好的旋涂效果,。勻膠旋涂?jī)x可對(duì)大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂，尤其是對(duì)超薄樣品,，即使基片厚度0.7毫米,、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達(dá)到旋涂效果,。不會(huì)出現(xiàn)真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,，影響涂層的均勻性。勻膠旋涂?jī)x廣泛應(yīng)用于微電子,、半導(dǎo)體,、制版、新能源,、生物材料,、光學(xué)及表面涂覆等工藝。

　　Ossila勻膠旋涂?jī)x控制和顯示：

　　1.非常方便設(shè)定處理速度和加速度程序段,；可設(shè)置順序循環(huán)控制,；

　　2.顯示精度控制在設(shè)定值的0.006%以內(nèi)

　　3.操作者可隨時(shí)隨地自由實(shí)現(xiàn)人機(jī)交互；

　　設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)程中,，可隨意向前,，向后或者往返跳躍操作步驟；

　　循環(huán)指令,，并可以重復(fù)操作,；

　　在運(yùn)轉(zhuǎn)模式下也可以實(shí)時(shí)改變速度和加速度；

　　包含PC程序端接口,；

　　可視化操作模型（化學(xué)試劑,，傳感器所見(jiàn)即所得的操作界面）；

　　故障報(bào)警裝置（可形象顯明故障發(fā)生位置）,。

勻膠旋涂?jī)x技術(shù)性能

• 可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,，基座面積僅為22.5x17cm。
• 無(wú)需真空泵、充氮?dú)?，?jié)省保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用,。
• 創(chuàng)新設(shè)計(jì)非真空卡盤(pán)式吸盤(pán)，基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當(dāng)位置,，無(wú)需抽真空,，就能達(dá)到旋涂效果。
• 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,，堅(jiān)固的不銹鋼外殼,，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán)，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行,。
• 勻膠旋涂?jī)x采用液晶顯示+按鍵操作控制界面,。智能程序化控制，10個(gè)用戶自定義協(xié)議,，每個(gè)協(xié)議下可設(shè)置10個(gè)程序,，每個(gè)程序多50個(gè)步驟。
• 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,，大限度的保證旋涂均勻,，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
• 電磁安全開(kāi)關(guān),，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,，保證運(yùn)行安全。
• 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<2%,。
• 轉(zhuǎn)速：120-6000rpm,。
• 定時(shí)器：1-1000秒。
• 電源：DC24V,、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器,。
• 尺寸：220x170x132mm。
• 左：普通旋涂機(jī)上有真空密封環(huán)形印跡     右：Ossila非真空式旋涂效果