手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
勻膠旋涂儀具有勻膠效率高,，使用方便等特點,。其勻膠速度、時間分多個時段,，并分別無級可調(diào)。面對眾多的品牌,，在選購合適的勻膠旋涂儀時您可以關注哪些因素呢,？
1、旋轉(zhuǎn)速度： 轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。
2,、尺寸選擇,，根據(jù)尺寸的不同選擇不同大小的機型。
3,、材質(zhì)的選擇：對于半導體化工行業(yè)的應用來說,，材質(zhì)的選擇尤為關鍵,，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會導致旋涂時,，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果,。
勻膠旋涂儀在勻膠過程中基片的加速度也會對膠膜的性能產(chǎn)生影響,。因為在基片旋轉(zhuǎn)的第一階段，光刻膠就開始干燥(溶劑揮發(fā))了,。所以精確控制加速度很重要,。在一些勻膠過程中，光刻膠中50%的溶劑就在勻膠過程開始的幾秒鐘內(nèi)揮發(fā)掉了,。在已經(jīng)光刻有圖形的基片上勻膠,，加速度對膠膜質(zhì)量同樣起重要作用。在許多情況下,，基片上已經(jīng)由前面工序留下來的精細圖形,。因此，在這樣的基片上穿越這些圖形均勻涂膠是重要的,。勻膠過程總是對光刻膠產(chǎn)生離心力,，而恰恰是加速度對光刻膠產(chǎn)生扭力(twisting force),這個扭力使光刻膠在已有圖形的周圍散開，這樣就可能以另一種方式用光刻膠覆蓋基片上有圖形的部分,。
所有勻膠過程中光刻膠的干燥速度不僅取決于光刻膠的自身性質(zhì)(如所用溶劑體系的揮發(fā)性),，而且還取決于勻膠過程中基片周圍的空氣狀況。一塊濕布在干燥有風的日子干得快,，而在潮濕氣候條件下干得慢,。光刻膠的干燥速度與此相似，也受周圍環(huán)境條件的影響,。
相關產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任,。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負版權等法律責任,。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關權利。
采購中心