SPB5/plus RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 SPB5/plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/25 16:03:27
- 訪問次數(shù) 1403
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半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備:等離子清洗機(jī),、紫外臭氧清洗機(jī)、勻膠機(jī),、烤膠機(jī)等,。 理化實驗室儀器設(shè)備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器,、智能消解儀,、恒溫電熱板等
RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要用于微電子芯片,、太陽能電池、生物芯片,、顯示器,、光學(xué)、通訊等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造,。
產(chǎn)品特點
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯,。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動,、自動兩種工作模式,。
◆ 真空艙體,、全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染,。
◆ 采用防腐數(shù)字流量計,, 實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),, 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),, 可輸入氧氣、氬氣,、 氮氣,、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體,。
◆ 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,,改變單孔進(jìn)氣不均勻問題。
◆ HEPA 高效過濾,,氣體返填吹掃,,防止二次污染。
◆ 符合人體功能學(xué)的 60 度傾角操作界面設(shè)計,,操作方便,,界面友好。
◆ 采用頂置真空艙,,上開蓋設(shè)計,,下壓式鉸鏈開關(guān)方式。
◆ 上置式 360 度水平取放樣品設(shè)計,,符合人體功能學(xué),,操作更方便。
◆ 有效處理面積大,,可處理最大直徑 154mm 晶元硅片,。
◆ 安全保護(hù),艙門打開,,自動關(guān)閉電源,,機(jī)器運行、停止提示,。
技術(shù)參數(shù)
型號 | RIE200 | RIE200plus |
艙體內(nèi)尺寸 | H38xΦ260mm | H38xΦ260mm |
艙體容積 | 2L | 2L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
電極 | 不銹鋼氣浴 RIE 電極, Φ200mm | 不銹鋼氣浴 RIE 電極,, Φ200mm |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
刻蝕方式 | RIE | RIE |
射頻功率 | 0-600W 可調(diào)(可選 0-1000W) | 0-300W 可調(diào)(可選 0-600W) |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計(MFC)(標(biāo)配雙路,,可選多路)流量范圍 0-500SCCM(可調(diào)) | |
工藝氣體 | Ar、N ?,、O ?,、H ?,、CF4、CF4+ H2,、CHF3 或其他混合氣體等(可選) | |
最大處理尺寸 | Φ154mm | |
產(chǎn)品尺寸 | L520xW600xH420mm | |
包裝尺寸 | L700xW580xH490mm | |
時間設(shè)定 | 9999 秒 | |
真空泵 | 抽速約 8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | |
極限真空 | ≤1Pa | |
電源 | AC220V 50-60Hz,,802(1202)502(802)W 所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定,。 | |
整機(jī)重量 | 38kg |
備注: 可選:1,、冷卻循環(huán)水器:溫度控制范圍 -20-100℃;
2、分子泵:分子泵抽速 85L/s(N2)極限真空:LF<8*10-6Pa,,CF<8*10-7Pa,。