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射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 11:49:55
  • 訪問次數(shù) 1185
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射頻離子/原子源

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理,。科睿公司一貫秉承『誠信』,、『品質(zhì)』,、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,,為廣大中國用戶提供儀器,、設(shè)備,周到的技術(shù),、服務(wù)和*的整體解決方案,。在科技日新月異,、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究,、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征,、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā),、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,,與中國科技共同飛速成長,。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn),。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便,。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),,72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好,、更快的為中國大陸服務(wù),!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),,主要用戶包括:中科院物理所,,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,,國家納米中心,,上海納米中心,北京大學(xué),,清華大學(xué),,中國科技大學(xué),南京大學(xué),,復(fù)旦大學(xué),,上海交通大學(xué),,華東理工大學(xué),浙江大學(xué),,中山大學(xué),,西安交通大學(xué),四川大學(xué),,中國工程物理研究院,,香港大學(xué),香港城市大學(xué),,香港中文大學(xué),,香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),,鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合

射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件

簡介:
射頻離子源:用于離子束沉積,,離子束輔助沉積,MEMS
射頻原子源:用于合成氧化物,,氮化物,,氫原子清洗

射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件

技術(shù)參數(shù):
射頻離子源
安裝法蘭口徑:NW63CF,NW100CF
真空腔體內(nèi)長度:290mm
真空腔體內(nèi)端面直徑:57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, Ar
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:8-10sccm
束流能量:0.1-1kev
電流密度:可大到5mA/cm2
射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)
射頻原子源
安裝法蘭口徑:NW35CF,,NW63CF,,NW100CF
真空腔體內(nèi)長度:290mm
真空腔體內(nèi)端面直徑:34mm,57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, CH4
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:0.01-20sccm

主要特點(diǎn):
無燈絲
安裝容易,可方便地安裝在已有系統(tǒng)上




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