射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/27 11:49:55
- 訪問次數(shù) 1185
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光刻機(jī),,鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件
簡介:
射頻離子源:用于離子束沉積,,離子束輔助沉積,MEMS
射頻原子源:用于合成氧化物,,氮化物,,氫原子清洗
射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)-真空組件
技術(shù)參數(shù):
射頻離子源
安裝法蘭口徑:NW63CF,NW100CF
真空腔體內(nèi)長度:290mm
真空腔體內(nèi)端面直徑:57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, Ar
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:8-10sccm
束流能量:0.1-1kev
電流密度:可大到5mA/cm2
射頻離子/原子源(可轉(zhuǎn)換)
射頻原子源
安裝法蘭口徑:NW35CF,,NW63CF,,NW100CF
真空腔體內(nèi)長度:290mm
真空腔體內(nèi)端面直徑:34mm,57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, CH4
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:0.01-20sccm
主要特點(diǎn):
無燈絲
安裝容易,可方便地安裝在已有系統(tǒng)上