電子束蒸發(fā)源-真空組件
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/27 13:56:17
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光刻機(jī),,鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),,氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,,濾料測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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電子束蒸發(fā)源-真空組件
對(duì)于使用常用熱蒸發(fā)技術(shù)非常難蒸發(fā)的材料,電子束蒸發(fā)是一種有效的蒸發(fā)手段.通過(guò)高能電子束射向靶材來(lái)升高靶材溫度.相比于通常輻射或間接電阻加熱方式,使用這種方式來(lái)達(dá)到溫度沒(méi)有本質(zhì)的限制。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質(zhì)量,,與高真空兼容材料構(gòu)成,,并且可以烘烤至250℃。
電子束蒸發(fā)源-真空組件
應(yīng)用領(lǐng)域:
表面科學(xué)
金屬薄膜接觸腳
MBE摻雜應(yīng)用
型號(hào)參數(shù):
多種不同型號(hào)提供不同功率的電子束蒸發(fā)源,,最高500W,,甚至按照客戶需要提供更高功率的電子束蒸發(fā)源。
提供Flux電流監(jiān)控,,監(jiān)控蒸鍍速率,。
坩堝容量小,節(jié)約靶材,,提供最小0.21 mm3,,最大1000 mm3的坩堝。
在高真空中,,可以烘烤至250℃,。
自動(dòng)化軟件控制;
手動(dòng)/馬達(dá)驅(qū)動(dòng)擋板,;
占用腔體空間小
冷卻水流量小